264模拟NTC442切片表面质量计划.docVIP

质 量 计 划 JL71001－01 №： 质量计划名称DS264模拟NTC442切片表面质量计划项目 使用DS264线切机模仿NTC442切割方式进行切割。 目 的DS264切割出NTC442线切机的切割硅片表面。通过试验改善目前264双向走线切片线纹大的问题。资 源 1、试验负责人：郭红慧，孙红永、张全红。 2、使用设备： D264线切割机。 3、使用原料：美国胶，玻璃板，实验单晶一颗（长度为100-150mm），切割辅料。 4、依据：选用现行的“粘料工艺文件”上的工艺参数进行粘料。 5、使用264线切机切片 备注编制： 审核： 批准/日期： 第 1页共 2页 质 量 计 划（续 页） JL71001－01 №： 任 务 分 配阶段内 容责任部门（人）/ 配合部门（人）完成日期备 注准备向综计部申请长度100-150mm太阳能实验单晶。 按照现行的“滚磨工艺文件”进行滚磨前的准备工作。 按照现行的“粘料工艺文件”进行粘料前的准备工作。 按照现行的“DS264往复新工艺”进行切割前的准备工作。 晶片事业部：郭洪惠、孙红永、张全红 综计部：张长旭试验阶段按照常规要求对单晶滚磨，酸腐，粘棒。 在D264线切割机上试切。 记录单晶切割过程中的有关参数，测试片子表面形态。  晶片事业部：郭洪惠、孙红永、张全红详细记录各项数据分析总结对以上记录数据进行分析总结，得出可行性方案晶片事业部：郭洪惠试生产阶段如试验成功,按照此工艺试切。 晶片事业部/郭洪慧、孙红永编制： 审核： 批准/日期： 第 2页共 2页DS264模拟NTC442切片表面试验方案 砂：1500# 切削液：河北工大液=1：0.9(重量比) 配比: 切削液重量：砂重量=1：0.95 钢线：0.12mm 用线量：89.195km 切割时间：421min 线速度：11.2m/s 切割工艺调整： 坐标 mm分步切速mm/min线速砂浆断线检测供线回收1.510.31005000118368120.310050001183680.530.31005000118368040.31005000118368-0.550.31005000118368-160.31005000118368-1.570.31005000118368-280.31005000118368-2.590.31005000118368-3100.31005000118368-3.5110.31005000118368-4120.31005000118368-4.5130.31005000118368-5140.3151005000118368-5.5150.321005000118368-6160.331005000118368-6.5170.341005100118368-7180.341005400118368-7.5190.341005800118368-8200.341006200118368-8.5210.341006600118368-9220.341007000118368-9.5230.341007300118368-10240.341007500118368-10.5250.341007500118368-12260.341007500118368-14270.341007500118368-16280.341007500118368-18290.341007500118368-20300.341007500118368-2231