第八章压阻式传感器-副本资料.ppt

第8章 压阻式传感器 8.1 压阻式传感器的工作原理 8.2 晶向的表示方法 8.3 压阻系数 8.4 影响压阻系数的因素 8.5 压阻式传感器的结构与设计 8.5.1 压阻式压力传感器 8.5.2 压阻式加速度传感器 8.6 压阻式传感器的测量电路及补偿 8.6.1 恒压源供电 8.6.2 恒流源供电 8.6.3 减小在扩散工艺中的温度影响 8.7 压阻式传感器的应用 ; 压阻式传感器：是利用固体的压阻效应制成的一种测量装置。 压阻效应：固体受到力的作用后，其电阻率（或电阻）就要发生变化，这种现象称为压阻效应。 分类: 粘贴型压阻式传感器：传感元件是用半导体材料的体电阻制成的粘贴式应变片。 扩散型压阻