原创力文档3薄膜生长
集成电路工艺基础 3、薄膜生长（PVD和CVD）;课程内容;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;TMGa与NH3在衬底表面形成GaN的基本物理过程 ;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*
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