MEMS加速度传感器的原理与构造.docx

PAGE \* MERGEFORMAT2 微系统设计与应用 加速度传感器的原理与构造 班 级：2012机自实验班 指导教师：xxx 小组成员：xxx xx大学机械工程学院 二OO五年十一月摘要 PAGE \* MERGEFORMATI 摘 要 随着硅微机械加工技术(MEMS)的迅猛发展,各种基于MEMS技术的器件也应运而生,目前已经得到广泛应用的就有压力传感器、加速度传感器、光开关等等,它们有着体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高等特点,而且因为其加工工艺一定程度上与传统的集成电路工艺兼容,易于实现数字化、智能化以及批量生产,因而从问世起就引起了广泛关注,并且在汽车、医药、导航和控制、生化分析、工业检测等方面得到了较为迅速的应用。其中加速度传感器就是广泛应用的例子之一。加速度传感器的原理随其应用而不同，有压阻式，电容式，压电式，谐振式等。本文着手于不同加速度传感器的原理、制作工艺及应用展开，能够使之更加全面了解加速度传感器。 关键词：加速度传感器，压阻式，电容式，原理，构造 目录 目 录  TOC \o 1-3 \h \z \u  HYPERLINK \l _Toc435991254 1 压阻式加速度传感器  PAGEREF _Toc435991254 \h 3  HYPERLINK \l _Toc435991255 1.1 压阻式加速度传感器的组成  PAGEREF _Toc435991255 \h 3  HYPERLINK \l _Toc435991256 1.2 压阻式加速度传感器的原理  PAGEREF _Toc435991256 \h 3  HYPERLINK \l _Toc435991257 1.2.1 敏感原理  PAGEREF _Toc435991257 \h 4  HYPERLINK \l _Toc435991258 1.2.2 压阻系数  PAGEREF _Toc435991258 \h 5  HYPERLINK \l _Toc435991259 1.2.3 悬臂梁分析  PAGEREF _Toc435991259 \h 6  HYPERLINK \l _Toc435991260 1.3 MEMS压阻式加速度传感器制造工艺  PAGEREF _Toc435991260 \h 7  HYPERLINK \l _Toc435991261 1.3.1结构部分  PAGEREF _Toc435991261 \h 7  HYPERLINK \l _Toc435991262 1.3.2 硅帽部分  PAGEREF _Toc435991262 \h 9  HYPERLINK \l _Toc435991263 1.3.3键合、划片  PAGEREF _Toc435991263 \h 10  HYPERLINK \l _Toc435991264 2电容式加速度传感器  PAGEREF _Toc435991264 \h 10  HYPERLINK \l _Toc435991265 2.1电容式加速度传感器原理  PAGEREF _Toc435991265 \h 10  HYPERLINK \l _Toc435991266 2.1.1 电容器加速度传感器力学模型  PAGEREF _Toc435991266 \h 10  HYPERLINK \l _Toc435991267 2.1.2电容式加速度传感器数学模型  PAGEREF _Toc435991267 \h 12  HYPERLINK \l _Toc435991268 2.2电容式加速度传感器的构造  PAGEREF _Toc435991268 \h 13  HYPERLINK \l _Toc435991269 2.2.1机械结构布局的选择与设计  PAGEREF _Toc435991269 \h 13  HYPERLINK \l _Toc435991270 2.3.2材料的选择  PAGEREF _Toc435991270 \h 15  HYPERLINK \l _Toc435991271 2.3.3工艺的选择  PAGEREF _Toc435991271 \h 16  HYPERLINK \l _Toc435991272 2.3.4具体构造及加工工艺  PAGEREF _Toc435991272 \h 17  HYPERLINK \l _Toc435991273 3 其他加速度传感器  PA