电子探针及其应用2011精编.ppt

电子探针X射线显微分析 ;一、引言;一、引言;一、引言;一、引言;一、引言;一、引言;一、引言;一、引言（EPMA、SEM区别） ;一、引言（EPMA/SEM-EDS的特点） ;一、引言（EPMA分析特点） ;一、引言（EPMA分析特点） ;一、引言（EPMA分析特点） ;一、引言（EPMA分析特点） ;二、 电子探针X射线显微分析的分类及原理;二、 电子探针X射线显微分析的分类及原理;二、 电子探针X射线显微分析的分类及原理;二、 电子探针X射线显微分析的分类及原理;二、 电子探针X射线显微分析的分类及原理; ;二、 电子探针X射线显微分析的分类及原理;三、 电子探针X射线显微仪器的组成;3.1、波谱仪（WDS）的结构和工作原理;3.1.1、波谱仪 ;3.1.2 波谱仪WDS工作原理;样品;;3.1.3 分光晶体;;3.1.4 X射线探测器;3.1.5 X射线记数和记录系统;3.1.6 波谱仪的特点;波谱仪的特点：;3.1.7 波长色散谱 ;3.2、能谱仪 ;偏压电源;3.2.1 能谱仪的工作原理;3.2.2 Si(Li)能谱仪的优点： ;3.2.3 能谱仪的缺点： ;3.2.4 能谱图;3.3 波谱仪和能谱仪的比较 ;波谱仪和能谱仪的比较;波谱仪和能谱仪的比较;四、电子探针仪的分析方法及应用;4.1 电子探针仪的分析方法;4.2 试样制备 ;试样表面必须抛光，在100倍反光显微镜下观察时，能比较容易地找到50μm×50μm无凹坑或划痕的定量分析区域。因为X射线是以一定角度从试样表面射出，如果试样表面凸凹不平，就可能使出射X射线受到不规则的吸收，降低X射线测量强度。试样表面台阶会引起附加吸收。 ;非金属材料的电导和热导都较差，在入射电子的轰击下将产生电荷积累，造成电子束不稳定、图像模糊、经常放电，使分析和图像观察无法进行。 试样导热性差会造成电子束轰击点的温度显著升高，往往使试样中某些低熔点组份挥发而影响定量分析准确度。??;成分定性、定量分析，必须蒸镀碳导电膜。碳为超轻元素，对所分析元素的X射线吸收小，对定量分析结果影响小；不会产生元素的峰干扰(如Au~Zr）。 蒸镀碳膜用真空镀膜仪。镀膜要均匀，厚度控制在20nm左右，为保证试样与标样镀膜厚度相同，标样和试样应该同时蒸镀。 ;4.3 定量分析;4.4 能谱定性分析;(1) 定点定性分析;(2) 线扫描分折;(2) 线扫???分折 ;(2) 线扫描分折;(2) 线扫描分折;(2) 线扫描分折; (2) 线扫描分折;(3) 面扫描分析;(3) 面扫描分析;(3) 面扫描分析; (3) 面扫描分析; (3) 面扫描分析; (3) 面扫描分析; (3) 面扫描分析;4.5．电子探针仪的应用;(1) 组分不均匀合金试样的微区成分分析;(1) 组分不均匀合金试样的微区成分分析;微区成分分析;(2) 扩散对试样中成分梯度的测定;(3) 相图低温等温截面的测定;试样中的成分;(4) 金属／半导体界面反应产物;化合物的成分