第六章 压电式传感器课程.ppt

压电传感器实例;;;飞机模态分析;; 第一节 压电效应及压电材料 第二节 压电传感器的等效电路及测量电路 第三节 压电传感器的应用;第一节 压电效应及压电材料 ;一、压电效应;一、压电效应;;;;;逆压电效应;逆压电效应（电致伸缩效应）; 压电式传感器的原理： 是以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量测量。;二、石英晶体（SiO2）的压电效应;(a) 晶体外形； (b) 切割方向； (c) 晶片 ;1、石英晶体产生压电效应原理;从–Q指向+Q的矢径l和电量Q的乘积定义为电偶极子的电矩，也称电偶极矩，用矢量p表示。;;;;;;;;;;;;;2、纵向压电效应;3、横向压电效应; ① 当晶片受到x方向的压力作用时，qx只与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关； ② 沿机械轴y方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的； ③ 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应； ④ 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； ⑤ 无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间皆呈线性关系。;三、陶瓷的压电效应;;－ － － － － ;这种由机械效应转变为电效应，或者由机械能转变为电能的现象，就是正压电效应。 ;;;逆压电效应：由于电效应而转变为机械效应或者由电能转变为机械能的现象。;（a）纵向变形;A z:极化面面积； Ax、A y:受力面面积； d32、d31:压电陶瓷横向压电系数;;;①转换性能。要求具有较大的压电常数。 ②机械性能。机械强度高、刚度大。 ③电性能。高电阻率和大介电常数。 ④环境适应性。温度和湿度稳定性要好，要求具有 较高的居里点，获得较宽的工作温度范围。 ⑤时间稳定性。要求压电性能不随时间变化。 ;; 1、石英晶体（SiO2） 介电常数和压电系数的温度稳定性相当好。 在20℃～200℃范围内，温度每升高1℃，压电系数仅减少0.016％。 居里点:573℃; 优点： 性能非常稳定，机械强度高，绝缘性能也相当好。 缺点： 价格昂贵，且压电系数比压电陶瓷低得多。用于标准仪器或要求较高的传感器中。;天然形成的石英晶体外形;人工合成水晶; ⑴ 钛酸钡压电陶瓷（BaTiO3） 由碳酸钡（BaCO3）和二氧化钛（TiO2）按1：1分子比例在高温下合成的压电陶瓷。 具有很高的介电常数和较大的压电系数约为石英晶体的50倍。 缺点: 居里温度低（120℃），温度稳定性和机械强度不如石英晶体。;; ⑵ 锆钛酸铅系压电陶瓷（PZT） 由PbTiO3和PbZrO3组成的固溶体Pb（Zr、Ti）O3。 它与钛酸钡相比，压电系数更大，居里温度在300℃以上，各项机电参数受温度影响小，时间稳定性好。 在锆钛酸中添加一种或两种其它微量元素（如铌、锑、锡、锰、钨等）可获得不同性能的PZT材料。因此锆钛酸铅系压电陶瓷是目前压电式传感器中应用最广泛的压电材料。 ;压电陶瓷外形;3、高分子压电材料（PVDF）;高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆;可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板;压电式脚踏报警器;高分子压电薄膜制作的压电喇叭;第二节 压电传感器的等效电路及测量电路;一、压电晶片的连接方式;;;受力和变形;;等效为电压源U和一个电容器Ce串联电路;Cc ：连接电缆等效电容 Ri ：放大器输入电阻 Ci ：放大器输入电容 Rd ：传感器泄漏电阻;三、压电传感器的测量电路;Cc ：连接电缆等效电容 Ri ：放大器输入电阻 Ci ：放大器输入电容 Rd ：传感器泄漏电阻;1、电压放大器;可得放大器输入端的电压Ui，其复数形式为;电压灵敏度 ;电压灵敏度 ;Cc ：连接电缆等效电容 Ri ：放大器输入电阻 Ci ：放大器输入电容 Rd ：传感器泄漏电阻;(1+A)CfCe+Cc+Ci时; 电荷放大器的输出电压Uo只取决于输入电荷与反馈电容CF，与电缆电容Cc无关，且与q成正比. 采用电荷放大器时，即使连接电缆长度在百米以上，其灵敏度也无明显变化，这是电荷放大器的最大特点。 在实际电路中，CF的容量做成可选择的，范围一般为100~104pF。;四通道电荷放大器外形;四通道电荷放大器指标;超小型电荷放大器模块;其它电荷放大器外形;第二节 小 结;3、电压放大器;电压灵敏度 ;(1+A)CfCe+Cc+Ci时;第三节 压电传感器的应