yh电子光学基础绪论.ppt

借助于材料测试技术，有助于我们了解分析材料（例如：纳米材料）的微观结构与宏观性能的关系，指导新型材料的合成、制备、形貌控制和表征、性能改善，是对材料科学进行研究必不可少的手段。;1. 透射电子显微镜 （TEM）形貌观察和晶相结构分析 2. 扫描电子显微镜 （SEM）表面形貌表征 3. 电子探针 （WDS, EDS） 微区成分分析 4. 俄歇电子能谱 （AES） 表面化学成分分析 5. 场离子显微镜 （FIM） 原子表面的直接成像 6. 扫描隧道显微镜（STM）与 原子力显微镜 （AFM） 样品表面高分辨形貌分析 7. X射线光电子能谱（XPS） 表面元素价态分析;第八章 电子光学基础;一、光学显微镜的分辨率极限;现代光学显微镜;在显微镜的发展史中，贡献最为卓著的是德国的物理学家、数学家和光学大师恩斯特·阿贝(Ernst Abbe)。 他提出了显微镜的完善理论，阐明了成像原理、数值孔径等问题，在1870年发表了有关放大理论的重要文章。 两年后，又发明了油浸物镜，并在光学玻璃、显微镜的设计和改进等方向取得了光辉的业绩。;放大40倍的新月藻、硅藻和水棉;1、光学显微镜的成像原理; 规律2：当物距等于2倍焦距时，则像距也在2倍焦距， 成倒立、等大的实像。此时物距等于像距，像与物大小相等，物像异侧。; 规律5：当物距小于1倍焦距时，则成正立、放大的虚像。此时像距大于物距，像比物大，物像同侧。; 十九世纪末，施特拉顿（Stratton）做了一个著名的实验。他设计了一种能将视像倒转180°的眼镜。戴上后，外界的一切事物都颠倒了。开始，他非常不适应这种情景，视觉和触觉、动觉之间发生了矛盾，用手触摸物体、在空间行动都发生了困难。如想拿上面的东西，手却伸向下方；想拿左面的东西，手却伸向右方；写字时也不能依靠视觉而只能靠触觉和记忆来写。这种异常的体验，还使人感到头痛和恶心。但是过8天以后，视觉逐渐与触摸觉、动觉协调起来，他不再感到外部是一个颠倒的世界了，能够比较完善地适应新的空间关系，周围的景象看起来正常了，也能行动自如。但是摘掉眼镜后，又重新经历了适应空间环境的过程。; 光学显微镜是根据凸透镜的成像原理，要经过凸透镜的两次成像。第一次先经过物镜（凸透镜1）成像，这时候的物体应该在物镜(凸透镜1）的一倍焦距和两倍焦距之间，根据物理学的原理，成的应该是放大的倒立的实像。而后以第一次成的物像作为“物体”，经过目镜的第二次成像。由于我们观察的时候是在目镜的另外一侧，根据光学原理，;分辨本领：成像物体（试样）上能分辨出来的两个物点间的最小距离。光学显微镜分辨本领的理论极限为：;为什么光学显微镜会有分辨极限？;如何提高显微镜的分辨率;二、电子波的波长特性; 不同加速电压下的电子波波长 ;三、电磁透镜;磁透镜和静电透镜相比有如下的优点;磁透镜结构剖面图;磁透镜使电子会聚的原理;图1-3（b）A点位置的B 和v的分解情况;当电子走到C点位置时，Br的方向改变180，Ft随之反向，即在C处有一离轴作用力，可以抵消与A点相当的向轴作用力， 由于磁场中心部分比两旁的强，因此在A、C中心部分受到特别大的向轴力是抵不掉的，电子继续向轴偏转。出磁场后又是直线运动。这条直线与轴成?角，并与轴交于O’点。;电磁透镜原理图; 短线圈磁场中的电子运动显示了电磁透镜聚焦成像的基本原理。实际电磁透镜中为了增强磁感应强度，通常将线圈置于一个由软磁材料（纯铁或低碳钢）制成的具有内环形间隙的壳子里（如右图）。 ;; 为了使线圈内的磁场强度进一步增强，可以在电磁线圈内加上一对磁性材料的锥形环－极靴替带软铁磁壳上的内环形间隙，尺寸可以更精确。可使有效磁场集中到沿透镜轴向几毫米的范围之内;电磁透镜的焦距和放大倍数可以通过改变激磁电流而连续变化。;第二节 电磁透镜的像差与分辨率;三、电磁透镜;;消除球差的方法三：改变透镜形状。（很难）。;(二) 像散;;定义：色差是由于电子的能量不同、从而波长不一造成的。 成因：电子透镜的焦距随着电子能量而改变，因此，能量不同的电子束将沿不同的轨迹运动。产生的漫散圆斑还原到物平面，其半径为 是透镜的色差系数，大致等于其焦距； 是电子能量的变化率。 减小措施：减小样品厚度；稳定加速电压 ;; 引起电子束能量变化的主要有两个原因： 电子的加速电压不稳定； 电子束照射到试样时，和试样相互作用，一部分电子发生非弹性散射，致使电子的能量发生变化。 使用薄试样和小孔径光阑将散射角大的非弹性散射电子挡掉，将有助于减小色散。; 光学显微镜的分辨本领基本上决定于像差和衍射，而像差基本上可以消除到忽略不计的程度，因此