氦质谱检漏技术.pptVIP

检漏技术 真空检漏 概述 漏的危害性 1破坏真空设备或真空器件的工作真空度 2破坏仪器设备内部的工作压力 3使储存的高压气体或燃料损失 4对器件内部造成污染。 5污染大气环境 检漏的基础知识 漏孔大小的最直观的表示方法是： （1）漏孔的几何尺寸 （2）单位时间内流过漏孔气体的质量或分子数。 尺寸是难以测量的 气体质量与分子个数也难以直接测量，那么用什么方法来表示漏孔的大小呢？ 由理想气体状态方程 P*V=m*R*T/M ----? m=P*V*M/(R*T) R:摩尔气体常数 M:气体的摩尔质量，也是常数 当T一定时，M/（R*T）为常数。因此，m正比于P*V，P和V的测量是方便的。 漏孔的大小就可以用单位时间内流过漏孔的气体量来表示。 单位时间内流过漏孔的气体量就叫做漏率。以Q表示。 Q=d(pV)/dt 常见的单位有Pa﹒m3/s,Torr﹒L/s,atm﹒cc/s等。 压强单位换算 1Torr=133Pa 1mbar=100Pa 1atm=101325Pa 标准漏率的定义 在环境温度为（23±7）摄氏度，入口压力为100KPa（±5%），出口压力低于1KPa时的干燥空气（露点温度低于-25摄氏度）通过漏孔的漏率。 极限压强： dP/dt =-Se*P/V+Q/V P:被抽容器内的压强； Se:被抽容器出气口处的有效抽速 V：容器体积 Q：容器漏气量与放气量之和