第6章压电式传感器导论.pptVIP

第6章 压电式传感器 6.1 压电效应及压电材料 6.2 压电式传感器测量电路 6.3 压电式传感器的应用 本章知识要点 正压电效应、逆压电效应的含义。 压电式传感器的工作原理。 压电式传感器的测量电路。 我们先来看一个实验。在完全黑暗的环境中，将一块干燥的冰糖用榔头敲碎，可以看到冰糖在破碎的一瞬间，发出暗淡的蓝色闪光，这是强电场放电所产生的闪光，产生闪光的机理是晶体的压电效应。 “雷送余音声袅袅，风生细响语喁喁” ——清代诗人苏履吉赞颂鸣沙 分 析 1、为静电发声。鸣沙山沙粒在人力或风力的推动下向下流泻，含有石英晶体的沙粒互相摩擦产生静电。静电放电即发出声响，响声汇集，声大如雷。 2、为摩擦发声。天气炎热时，沙粒特别干燥而且温度增高。稍有摩擦，即可发出爆裂声，众声汇合一起便轰轰隆隆地鸣响。 3、为共鸣放大。沙山群峰之间形成了壑谷，是天然的共鸣箱。流沙下泻时发出的摩擦声或放电声引起共振，经过天然共鸣箱的共鸣，放大了音量，形成巨大的回响声。 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 石英晶体的压电效应演示 一、压电效应 6.1 压电效应及压电材料 对某些电介质，沿着一定方向施力而使它变形时，在它的两个表面上产生符号相反的电荷， 当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态。 当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。这种现象称压电效应。也称为正压电效应。 1、正压电效应 2、逆压电效应（电致伸缩） 当在电介质极化方向施加电场时，这些电介质会产生几何变形，这种现象称为逆压电效应，也称为电致伸缩效应。(工业中的微进给装置) “蓝鳍金枪鱼-21”潜航器 自然界的大多数晶体都具有压电效应，如石英晶体，还有人造晶体，如钛酸钡、锆钛酸铅等。 分类：压电晶体、压电陶瓷和高分子材料等等。 二、压电材料简介 具有压电效应的材料称为压电材料。 有哪些？ 压电效应强弱：灵敏度 固有频率、动态特性 固有电容、频率下限 机电转换效率 泄漏电荷、改善低频特性 丧失压电性的温度 性能参数 压电材料的特性参数 天然结构石英晶体的理想外形是一个正六面体，在晶体学中它可用三根互相垂直的轴来表示，其中纵向轴Z－Z称为光轴；经过正六面体棱线，并垂直于光轴的X－X轴称为电轴(electrical axis) ；与X－X轴和Z－Z 轴同时垂直的Y－Y轴（垂直于正六面体的棱面）称为机械轴。 1．石英晶体的压电效应 6.1.1 石英晶体 天然形成的石英晶体外形 天然形成的石英晶体外形 从石英晶体上切下一片平行六面体——晶体切片，使它的晶面分别平行于X、Y、Z 轴，如图。并在垂直X轴方向两面用真空镀膜或沉银法得到电极面。 双面镀银并封装 图6-2 石英晶体 (b) 切割方向； (c) 晶片 石英晶体化学式为SiO2 沿电轴x方向施加作用力fx，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷qx ： 沿机械轴y方向施加作用力Fy，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy： 与尺寸无关 与尺寸有关 压电系数中两个下标的含义如下：下标i表示晶体的极化方向，当产生电荷的表面垂于x轴(y轴或z轴)时，记i=1(或2，3)。下标j=1或2，3，4，5，6，分别表示沿x轴、y轴、z轴方向的单向应力，和在垂直于x轴、y轴、z轴的平面（即yz平面、zx平面、xy平面）内作用的剪切力。 总结：三个极化方向，六种力，共18种系数。 例如：d12含义 石英晶体具有压电效应，是由其内部结构决定的。组成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-在Z平面投影，如图(a)。为讨论方便，将这些硅、氧离子等效为图(b)中正六边形排列，图中“＋”代表Si4+，“－”代表2O2-。 硅氧离子的排列示意图 (a) 硅氧离子在Z平面上的投影 （b）等效为正六边形排列的投影 2．石英晶体产生压电压电效应的机理 当作用力FX=0时，正、负离子正好分布在正六边形顶角上，形成三个互成120o夹角的电偶极矩P1、P2、P3，此时正负电荷中心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即 P1＋P2＋P3＝0 Y + + + - - - X (a) FX=0 P1 P2 P3 FX X Y + + + + － － － － FX + + + - - - P1 P2 P3 当晶体受到沿X方向压力FX作用时，晶体沿X方向将产生收缩，正、负离子相对位置随之发生变化，此时电偶极矩在X方向的分量为(P1+