第04章电容式传感器..ppt

学习要求 1.掌握电容式传感器工作原理? 2.掌握电容式传感器的分类、及它们各自的特点 3.了解电容式传感器的测量电路 1 第四章 电容式传感器 指纹识别传感器 指纹识别传感器 图为IBM ThinkpadT42/T43 的指纹识别传感器 2 电容式指纹识别传感器 指纹识别目前最常用的是电容式传感器，也被称为第二代指纹识别系统。 下图为指纹经过处理后的成像图： 3 电容式指纹识别传感器 4 电容式指纹识别传感器 指纹识别所需电容传感器包含一个大约有数万个金属导体的阵列，其外面是一层绝缘的表面 5 电容式指纹识别传感器 当用户的手指放在上面时，金属导体阵列/绝缘物/皮肤就构成了相应的小电容器阵列。它们的电容值随着脊（近的）和沟（远的）与金属导体之间的距离不同而变化。 6 电容式指纹识别传感器 它的优点： 体积小 成本低 成像精度高 耗电量很小，因此非常适合在消费类电子产品中使用。 7 4.1 电容传感器原理 电容式传感器是将被测量（如尺寸、压力等）的变化转换成电容变化量的一种传感器。 实际上,它本身（或和被测物）就是一个可变电容器 8 4.1 电容传感器原理 平行板电容器的电容为： (4-1) 上式中，哪几个参量是变量？可以做成哪几种类型的电容传感器？ 9 4.2 电容传感器分类 根据其改变参数不同，可将电容式传感器分为下三种： 改变极板间距离(δ)的极距型传感器 改变极板遮盖面积（ A ）的面积型传感器 改变电介质介电常数（ε0）的介质型传感器 10 4.2 电容传感器分类 电容传感器分类结构图如下 11 分类示意图 + + + + + + 4.2.1 极距式电容传感器 极距式电容传感器 当传感器的εr和A为常数,初始极距为δ0时,由式(4-1)可知其初始电容量C0为 (4-2) + + + 13 为真空介电常数 为相对介电常数 4.2.1 极距式电容传感器 若电容器极板间距离由初始值δ0缩小Δδ, 电容量增大ΔC, 则有 14 4.2.1 极距式电容传感器 由前式可知, 传感器的输出特性C = f (δ)不是线性关系,而是双曲线关系 此时C1与Δδ近似呈线性关系, 所以变极距型电容式传感器只有在Δδ / δ0很小时, 才有近似的线性输出 15 因 ，忽略高次项 动极板上移Δδ ，则C1增大，C2减小，初始电容用C0来表示，则 ： 差动电容器输出： 忽略高次项： 灵敏度提高一倍，非线性误差减小。 4.2.1 极距式电容传感器 加入云母片时电容C变为: 式中: εg—云母的相对介电常数,εg= 7 ε0—空气的介电常数, ε0= 8.85x10 exp(-12)? F/m —空气隙厚度  —云母片的厚度 19 4.2.1 极距式电容传感器 云母片的相对介电常数是空气的7倍, 其击穿电压不小于1000kV/mm, 而空气的仅为3kV/mm。因此有了云母片, 极板间起始距离可大大减小。 同时, 式中的( /ε0εg)项是恒定值, 它能使传感器的输出特性的线性度得到改善。 一般变极板间距离电容式传感器 起始电容在 20～100pF之间, 极板间距离在25～200μm的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广 20 4.2.2 变面积型电容式传感器 改变极板间覆盖面积的电容式传感器，常用的有角位移型和线位移型两种。 图为典型的角位移型电容式传感器 当动板有一转角时，与定板之间相互覆盖的面积就发生变化，因而导致电容量变化。 21 4.2.2 变面积型电容式传感器 当覆盖面积对应的中心角为a、极板半径为r时，覆盖面积为 s=ar2/2，电容量为 ： 其灵敏度为： 22 4.2.2 变面积型电容式传感器 线位移型电容式传感器 平面线位移型和圆柱线位移型两种。 23 4.2.2 变面积型电容式传感器 对于平面线位移型电容式传感器，当宽度为b的动板沿箭头x方向移动时，覆盖面积变化，电容量也随之变化 电容量为： 24 其灵敏度为 ： 4.2.2 变面积型电容式传感器 对于圆柱线位移型电容式传感器，当覆盖长度x变化时，电容量也随之变化 其电容为： （4-8） 式中 x——外圆筒与内圆筒覆盖部分长度； r1、r2——外圆筒内半径与内圆筒（或内圆柱）外半径，即它们的工作半径 其灵敏度为： 25 线位移 角位移 单组式 差动式 平板结构对极距变化特别敏感，测量精度受到影响。而圆柱形结构受极板径向变化的影响很小，成为实际中最常用的结构。 可见变面积式电容传感器输出是线性的，灵敏度为一常数。 ① 增大初始电容C0可以提高传感器的灵敏度； ② 极板宽度a的大小不影响灵敏度，但不能太小，否则边缘电场影