第六章电真空解决方案.pptx

微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 第一章 微波电真空器件概论 主讲人：段兆云 教授 E-mail：zhyduan@uestc.edu.cn 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 6.1 发射材料 1.简介电子发射的四种方式：热电子发射、场致电子发射、光电子发射、二次级（次级）电子发射。这样就对应于四种发射阴极。阴极被誉为电真空器件的“心脏”。 光电子发射：光辐射物体。物体中的电子吸收了足够大的光量子的能量后，就可以逸出场体。 次级电子发射：靠轰击物体表面并穿入物体内部的电子把动能传递给物体内的电子，使它们得到足够的能量而逸出。 第六章 电真空材料 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 2.热电子发射和热阴极 a.热电子发射现象 早在1883年Edison在白炽灯中另加一个电极，首次在真空中观察到了热电子发射现象。当时把这一现象称之为Edison-effect。Edison-effect的本质直到1897年才被Thomson揭露。热电子的发射电流密度随温度变化非常快。实验数据在很大的范围内近似地符合下面的经验公式： 其中a,b是两个实验常数。对于许多金属而言，a值都很接近，但b值则不相同。 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 后来经过Richardson和Dushman的更深入的研究和更精确的推导，得到了Richardson-Dushman eq. : 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 b.热阴极及其分类 定义：利用能产生热电子发射的材料制成的阴极叫热阴极。 a. 直热式阴极； b. 间热式阴极。 按加热方式分: 按材料不同分: a. 纯金属阴极：钨（W），钼（Mo），钽（Ta）,铌（Nb）等； b. 薄膜阴极：钍钨阴极，在钨表面形成一层钍原子薄膜； c. 氧化物阴极：是由钡（Be）、锶（Sr）、钙（Ca）等碱土金属的氧化物混合体作为发射材料制成的阴极； d. 储备式阴极：钡钨阴极。 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 简介钡钨阴极： 因为钡钨阴极在微波电真空器件应用的最广泛，所以我以此为例来介绍钡钨阴极的特点、制备等。 1) 特点： 钡钨阴极就是利用海绵状钨的多孔性，即钨粒间有相当大的间隙的钨体做成阴极，使大量活性物质储备在这样的阴极钨体中，或者储备在钨体下面专门的小室中，钡原子就可以源源不断地沿着钨粒间的孔隙向表面扩散，从而使阴极保持稳定的发射。 优点： a.发射能力大，寿命长，耐离子轰击和抗中毒能力强，而且在结构上有良好的机械; b.强度、耐冲击、抗震动。 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 缺点： a.阴极蒸发问题，影响阴极的使用寿命。 2） 制备： 关于浸渍式钡钨阴极和压制式钡钨阴极的制备过程，请同学们见教材P525~526。下面我给大家介绍几个基本方法。 a.激活：所谓的激活过程就是要使阴极产生超额钡原子。因为自由钡原子的存在以及足够多的钡原子扩散到阴极表面，才可能使阴极具有良好的发射能力。 b.老炼：把阴极在比工作温度稍高的温度下保持一定时间，同时支取电流，轰击其他电极使之出气，让所出气体被新蒸发的吸气剂吸收掉，使发射更加稳定。 c.阴极中毒：受管内残余气体或残留物后作用，阴极的电子发射能力迅速下降。 d.活性物质：能提供发射电子的物质。 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 3.场致电子发射和场致发射阴极 上面我们讲了热电子发射，但它存在如下的缺点： 需要消耗能量来加热发射体，而且效率低； 阴极这种热的耗散会使周围的电极升温，引起放弃，蒸发加剧，从而又会引起打火、漏电，甚至极间短路； ③ 热电子发射热能利用率低，一般而言，不超过100A/cm^2； ④ 阴极工作需要一个预热时间，器件才能正常工作。 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 但是场致电子发射还存在明显的缺点： 较高的工作电压； 发射的总电流很小； 发射不够稳定； 寿命不够长。 所以场致电子发射阴极在电真空器件中还远未其它实用化。但是我的期望随着科技的进步，这些缺点会被逐步克服的！ 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 图6-1钼尖锥FEA 目前阴极的发展趋势：采用热电子发射和场致电子发射原理发展复合阴极。 微波电真空器件国家级重点实验室 电子科技大学物理电子学院 Thank Y