微波等离子体调研报告研讨.pptxVIP

微波热等离子体炬 报告人：林启富 指导老师：倪国华 2017-4-7 中科院等离子体物理研究所 2017-4-7 中科院等离子体物理研究所 报告提纲 1 2 3 4 微波热等离子体研究状况 2017-4-7 中科院等离子体物理研究所 国家与地区 2017-4-7 中科院等离子体物理研究所 出版年份 2017-4-7 中科院等离子体物理研究所 研究方向 2017-4-7 中科院等离子体物理研究所 出版物来源 2017-4-7 中科院等离子体物理研究所 微波热等离子体装置 微波热等离子体装置图 微波的产生 微波等离子体参数 微波等离子体优缺点 2017-4-7 中科院等离子体物理研究所 微波热等离子体装置图 2017-4-7 中科院等离子体物理研究所 微波的产生 微波是由特殊装置把直流电或者交流电转换而来 微波主要器件分类 电真空器件(电子管) 半导体器件 磁控管 多腔速调管 行波管 2017-4-7 中科院等离子体物理研究所 微波频率分为915MHz和2450MHz 微波等离子体放电是自持放电 一般情况下，微波等离子体是非平衡的冷等离子体 谐振腔腔体部分密度可达1014/cm3 2017-4-7 中科院等离子体物理研究所 各种放电等离子体参数范围 等离子体发生方法 Ne/cm3 E/(V/cm) p/(torr) Te/K Tg/K 直流弧光放电 104 20 100 ~10