洁净室介绍解析.pptVIP

洁 净 室 介 绍 目录 洁净室的定义 洁净室的由来 洁净室的等级 洁净室的计算 洁净室在颀中的应用 洁净室的定义 洁净室为将一定空间范围内空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、靜电控制在某一需求范围内，而给于特別设计的房间以符合制程工艺之需求 洁净室的等级 空气洁净度：洁净空气中含尘量多少的程度（即含尘浓度）,含尘浓度高则洁净度低， 含尘浓度低则洁净度高。 等级划分: 美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年） 以单位体积空气中大于等于0.5um粒径的粒子个数直接命名 日本JISB9920标准 以单位体积空气中大于等于0.1um粒径的粒子个数以10n表示,按指数n命名为洁净度等级 被控制的含尘浓度的具体规定 1、何状态下的含尘浓度 动态、静态、空态 2、何范围内的含尘浓度 离地0.8~1.5m高的区域。 洁净室的计算 当按洁净级别划分时，换气次数为： 100级 ≥360次/h 1000级 ≥50次/h 10000级 ≥25次/h 100000级 ≥15次/h 当然气流速度也是有限制的： 乱流洁净室：吹过水平面的气流速度＜0.2 m/s 层流洁净室：垂直平行流洁净室≥0.25m/s 水平平行流洁净室≥0.35m/s 循环次数的计算 FFU是将污染之空气过滤，稀释，使洁净室的环境能达到制程工艺所需之环境，其单位时间内循环次数直接决定着洁净室的品质。 单位时间内循环次数可按下式计算： n1 n2*u*s/V 式中： n1为：换气次数 次/s n2为：FFU个数 u 为：经过HEPA的风速 m/s V 为：房间的体积 m3 S 为：FFU截面积 m2 Particle计算公式 各种要求粒径D的粒子最大允许浓度Cn由以下公式确定: 式中：Cn——大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度（pc/m3）； Cn是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位。 N ——洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中间 数可以按0.1为最小允许递增量。 D——要求的粒径（μm），其值为[0.1~5.0]。 0.1——常数，其量纲为μm。 室内单位容积发尘量： 1,人静止（或基本静止）时： 式中：0.4x105 :人体单位容积发尘量，粒/m3.分 P:室内人数 β:一般为常数8 2,人动作时,一般认为一个人在室内活动时的发尘量为其静止时的5倍,即 式中： β 40 关于静压 对于大部分洁净室，为了防止外界污染侵入，需保持室内压力（静压）高于外部的压力（静压），压力差的维持一般应符合以下原则： 1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。 2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别 低的空间的压力。 3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。 《洁净厂房设计规范》规定： 不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压 差，应不小于4.9Pa。洁净区与室外的静压差，应不小于9.8 Pa。 洁净室正压值与房间换气次数的关系 关于温湿度 洁净空间的温、湿度主要是根据工艺要求来确定的。在满足工艺要求的条件下，应考虑人的舒适感。 温度对生产工艺的影响，主要是从产品精度和合格率来考虑的。另一方面也从污染角度考虑。因为温度升高后，会引起人出汗，汗水会对产品产生污染。 湿度过高产生的问题也很多，如相对湿度超过55%以后，冷却水管壁面上会结露。如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。 此外，湿度太高会使物体表面的灰尘难以清除。但是相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于物体表面，在半导体生产车间，静电会使半导体器件发生击穿。所以，在洁净室内应对温、湿度加以控制。 《洁净厂房设计规范》中规定：生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20~26℃，湿度为70% 关于噪声 洁净室内的噪声级，应符合下列要求： 一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超过70分贝。 二、空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝；层流洁净室的噪声级不应大于65分贝。 20dB 寂静、树叶声、耳语声 讲电话非常清楚 高标准环境 30dB 安静的小树林、小河边 讲电话非常清楚 优良环境 40dB VIP室,会议室,教堂,安静的小区 讲电话良好 满意环境 50dB 一般的办公室 讲电话可以接受 不太满意的环境 60dB 打字室,一般生产区域 计算能力下降 讲电话比较困难 70dB 大声讲话 血管收缩,注意力降低 80dB 繁忙的道路