扫描探针显微镜说课.ppt

设计题目：基于虚拟仪器的扫描探显微镜 专业班级： 机械电子工程12-1 控制系统设计 导师姓名： 刘桂波 答辩人： 黄立冠 开题时间： 2016年3月18日 Contents 目录 01 02 03 04 扫描探针显微镜的研究现状及分析 课题研究的目的和意义 设计的基本内容和拟主要的解决问题 技术路线 1.扫描探针显微镜的发展现状及分析 扫描探针显微镜的发展现状及分析 (1)R.虎克在17世纪中期制做的复式显微镜 （1） 19世纪中期的显微镜 （3）20世纪初期的显微镜 (4)带自动照相机的光学显微镜 (5) 装有场发射枪的扫描电子显微镜 (6) 超高压透射 电子显微镜? 扫描探针显微镜的发展现状及分析 扫描探针显微镜工作原理 扫描探针显微镜(SPM) 是利用带有超细针尖的探针逼近样品，并采用反馈回路控制探针在距表面纳米量级位置扫描，获得其原子以及纳米级的有关信息图像如题1所示。 2.课题研究的目的和意义 由于扫描显微镜的探针扫描过程中探针与样品间距可能会因为一些外在或者内在的因素而改变；间距太大会导致图像的清晰度和对比度下降，太小可能会造成样品表面会划伤或者探针折断，故而必须建立灵敏、精确、稳定的反馈控制系统以实现探针—样品间距恒定，具有很大的灵活性，既降低了仪器的成本并提高了仪器的实用化和简 易化程度，又达到优化生产的目的。 课题研究的目的和意义 3.设计的基本内容和拟主要的解决问题 1. 分析扫描探针显微镜控制系统的特点及控制要求。 2. 根据技术要求确定控制方案。 3. 确定控制器数学模型参数。 4..用LABVIEW实现PID控制规律。 设计的基本内容 1.保持探针和样品间的距离恒定。 2.消除外界的隔振的影响（通常，为了对共振频率处的噪声进行抑制，隔振系统中会引入一些耗散力。也介意在主动式隔振系统之上再加一级被动式隔振平台构成多级隔振系统） 拟主要的解决问题 3.消除空气中噪声的影响（可以用各种隔音措施来减少SPM扫描头处的 噪声。当然最好的隔绝噪声的办法是将SPM放入真空腔。） 4.减少热漂移的影响（SPM扫描头上个部件尽量与SPM扫描头基体（外壳）所用的材料一致。Z方向的长度尽量与外壳在Z方向的尺寸一致。XY方向尽量做到轴对称，探针、样品位于轴对称中心。这样设计后可以保证最小的热漂移。） 拟主要的解决问题