沈清明授课研究.pptx

《材料分析技术》 沈清明 材料科学与工程学院 TelEmail：iamqmshen@njupt.edu.cn 第八讲 透射电子显微镜 — 工作原理 入射 电子束 电子与物质相互作用 透射电子显微镜 眼睛是人类认识客观世界的第一架“光学仪器”。但它的能力是有限的，如果两个细小物体间的距离小于0.1 mm时，眼睛就无法把它们分开。 光学显微镜的发明为人类认识微观世界提供了重要的工具。随着科学技术的发展，光学显微镜因其有限的分辨本领而难以满足许多微观分析的需求。 上世纪30年代后，电子显微镜的发明将分辨本领提高到纳米量级，同时也将显微镜的功能由单一的形貌观察扩展到集形貌观察、晶体结构、成分分析等“三位一体”。 光学显微镜的分辨率 由于光波的波动性，使得由透镜各部分折射到像平面上的像点及其周围区域的光波发生相互干涉作用，产生衍射效应。一个理想的物点，经过透镜成像时，由于衍射效应，在像平面上形成的不再是一个像点，而是一个具有一定尺寸的中央亮斑和周围明暗相间的圆环所构成的Airy斑。如右图所示。 透镜分辨率 测量结果表明Airy斑的强度大约84%集中在中心亮斑上，其余分布在周围的亮环上。由于周围亮环的强度比较低，一般肉眼不易分辨，只能看到中心亮斑。因此通常以Airy斑的第一暗环的半径来衡量其大小。根据衍射理论推导，点光源通过透镜产生的Airy斑半径R0的表达式为： λ波长，α透镜孔径半角，n折射率 （8-1） 通常把两个Airy斑中心间距等于Airy斑半径时，物平面上相应的两个物点间距（Δr0）定义为透镜能分辨的最小间距，即透镜分辨率（也称分辨本领）。由式8-1得： 即 （8-2） 对于光学透镜，当n?sinα做到最大时（n≈1.5,α≈70-75°），式（8-2）简化为： （8-3） 有效放大倍数 上式说明，光学透镜的分辨本领主要取决于照明源的波长。半波长是光学显微镜分辨率的理论极限。可见光的最短波长是400nm，也就是说光学显微镜的最高分辨率是≈200nm。 一般地人眼的分辨本领是大约0.2mm，光学显微镜的最大分辨率大约是0.2μm。把0.2μm放大到0.2mm让人眼能分辨的放大倍数是1000倍。这个放大倍数称之为有效放大倍数。光学显微镜的分辨率在0.2μm时，其有效放大倍数是1000倍。 光学显微镜的放大倍数可以做的更高，但是，高出的部分对提高分辨率没有贡献，仅仅是让人眼观察更舒服而已。所以光学显微镜的放大倍数一般最高在1000-1500之间。 如何提高分辨率和有效放大倍数？ 超高分辨率显微镜-2014 诺贝尔化学奖 自从1873年Ernst Abbe第一次发现光学成像具有衍射限制现象以来，物理学界就公认，显微镜的分辨率具有极限，该极限与光源的波长有关。 直到一个多世纪之后，罗马尼亚物理学家Stefan Hell推翻了这一观点。他是不仅从理论上论证了，而且用实验证明了使用光学显微镜能达到纳米级分辨率。 Abbe深入研究了在传统光学中，如何能够提高分辨率，以及是否能够无限提高分辨率的问题。 但光学显微由于光束直径有限，透镜大小有限，会产生衍射，从而具有一个所谓的衍射极限： 如果一次把处于这个半径里面的粒子亮起来，那么用光学显微是无法分辨它们的。 既然一次都亮起来不行，那我把其中一些弄灭可不可以？ 爱因斯坦说：一个好问题，比一个好的解决方案都重要。 这一次，提问的人是Stefan Hell，那年，他29岁。 超高分辨率显微镜-2014 诺贝尔化学奖 如果使用一种合适的激光，仅激发一个点的荧光基团使其发光，然后再用一个面包圈样的光源抑制那个点周围的荧光强度，这样就只有一个小点发光。Hell给他的这项发明取名受激发射损耗显微镜（stimulated emission depletion, STED）。 STED 基本原理是利用两束激光照射荧光材料： 一束是正常的光聚焦到一个小的光斑（Airy斑，上左），这个就是衍射极限的最大分辨率，第一束光将分子激发到一定的激发态。分子一般会慢慢跃迁到最低激发态，然后发出荧光回到基态的。 另一束激光变成中空的筒形，两束光聚焦到同一点上（上中）。 如果用第二束激光诱导受激辐射让分子直接跳回基态（要用滤波片滤掉这个辐射光）由于第二束光把第一束光部分熄灭，这样就剩下中间小点发荧光，这个小点就是新的分辨率（上右）。 Hell通过把Airy斑的直径缩小，从而提高了分辨率，打破了可见光的衍射极限，从而实现超分辨成像。 如何提高显微镜的分辨率 根据式 ，要想提高显微镜的分辨率，关键是降低照明光源的波长。 顺着电磁波谱朝短波长方向寻找，紫外