第四章力敏传感器B技术分析.ppt

电容式传感器的特点： 功率小、阻抗高，静电引力小和良好的动态特性 本身发热影响小，可进行非接触测量 电容式传感器应用： 广泛应用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量 逐步扩大应用于压力、差压、液面、料面、成分含量等方面的测量 影响平板电容器电容值的因素 极板面积 极板间距离 介质的介电常数 被测物理量可以通过作用在这三个因素之上而使得电容值发生改变 位移——极板间距离 角度——极板面积 液面——介电常数 常见的电容式传感器的原理结构形式 变间隙式电容传感器 a、b 常用于测量微小的线位移 变面积式电容传感器 c、d、e、f 常用于测量角位移和较大的线位移 变介电常数式电容传感器 g、h 常用于固体或液体的物位测量以及各种介质的湿度、密度的测定 空气介质的变间隙电容式传感器 工作原理：极板2为定极板，固定不动，极板1为动极板，与被测体相连，当被测参数改变而引起动极板1移动时，就改变了极板间距离，从而改变极板间的电容 二 电容式传感器的等效电路 电容式传感器表现为纯电容特性吗？ 实际情况下，大多数电容器，除了在高温、高湿条件下，损耗可以忽略 低频工作时，电感效应可以忽略 在电容器的损耗和电感效应不能忽略时，等效电路如图所示 并联损耗电阻Rp 极板间的泄漏电阻和极板间的介质损耗 低频工作时影响较大 串联电阻Rs 引线电阻、电容器支架和极板的电阻 随频率增高而增大 电感L 电容器本身的电感和引线电感 分别与电容器结构形式和引线长度有关 电容式传感器的等效电路是一个RLC的振荡电路，有一个谐振频率，通常在几十兆赫兹 只有在低于谐振的频率上（通常为谐振频率的1/3~1/2），才能获得电容传感元件的正常运用 有效容抗Ce 电容的实际相对变化量为 电容传感元件的实际相对变化与固有电感有关 三 电容式传感器的信号调节电路 1 运算放大器电路 能够克服变间隙电容式传感器的非线性而使其输出电压与输入位移（间距变化）有线性关系 反相放大器电路的简单分析 分析要点 运放输入两端具有相同的电位 运放的输入端没有电流流过 电容式传感器的运算放大电路分析 放大器放大系数为-K，反相放大电路 作为运放输入端之一的a点与运放的另一个输入端具有相同的电位——地电位 考虑电路节点a，a点流向运算放大器的电流为0 联立求解，可得 而 ，代入得 输出电压与极板间距成线性关系，从而从原理上解决了变间隙的电容式传感器的非线性问题 四 电容传感器的应用 电容传感器可直接测量的非电量有直线位移、角位移及介质的几何尺寸等 电容传感器测量其他非电量时，通常需要进行预变换，即将被测参数转换成极板间隙、极板面积或介电常数的变化 膜片电极式压力传感器 膜片电极式压力传感器的工作原理是膜片在被测压力的作用下产生弯曲变形，从而改变极板间平均间隙，导致电容的变化 变间隙的电容传感器 电容式加速度传感器 电容式应变计 应变导致极间距变化 极间距变化与应变之间存在非线性，可抵消一部分电容本身的非线性 变间隙的电容传感器 电容式荷重传感器 荷重的变化导致极板间距离端点变化，从而导致电容的变化 变间隙的电容传感器 传感器误差较小，接触面影响小 电容传声器 电路特点： ①线路简单，可全部放在探头内，大大缩短了电容引线、减小了分布电容的影响； ②电源周期、幅值直接影响灵敏度，要求它们高度稳定； ③输出阻抗为RL，与电容无关，克服了电容式传感器高内阻的缺点； ④适用于具有线性特性的单组式和差动式电容式传感器。 弹簧片 定极板2 质量块（动极板） 定极板1 绝缘体 a C1 C2 m 电容测厚传感器在板材轧制装置中的应用 　　　 * 第4.3节 电容式传感器 ? 以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容量变化的传感器称为电容式传感器。 ε ——极板间介质的介电系数； ε0 ——真空的介电常数，ε0 =8.854×10-12 F/m； εr ——极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，εr ≈1， d ——极板距离 一. 电容式传感器的工作原理及特性 1 基本工作原理 平行极板电容器的电容量为： + - 电容式传感器----变间隙型、变面积型、变介质型 变极距型电容传感器 2 电容式传感器的类型和特性 极板1上移： 设动极板未移动时极板间距为d0 初始电容量为： 电容的相对变化量为： 略去高次项，得： 所以变极距型电容传感器在设计时要考虑满足Δdd0的条件。且一般Δd只能在极小的范围内变化。 非线性误差与Δd/d0有关。其表达式为： 传感器的灵敏度为： 动极板 定极板 定极板 C1 d1 C2 d2 差动式变