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TN ITO GLASS标准
液晶显示用氧化铟锡透明导电膜玻璃
TN规格书
客户名称:
批 准 审 核 制 定 日 期 品管部
客户确认 日 期
引用文件
GB/T 18680-2002 液晶显示器用氧化铟锡透明导电玻璃标准
1.玻璃几何尺寸
1.1 玻璃规格
序号 检验项目 标准范围 测试方法 1 长度/宽度 ±0.20mm 游标卡尺 2 厚度 1.8±0.05mm
1.1±0.05mm
0.70±0.05mm
0.55±0.05mm 千分尺 3 垂直度 ≤0.10% 宽座角尺和塞尺 1.2翘曲度
描述基片和平面基板之间的距离,用平面基板和塞尺测量(见下图)(翘曲度标准见下表)。
h
L
图2 玻璃基片的翘曲度
不允许S形翘曲
1.3平面度(也称为微波纹度)
用Surfcom l400D表面形貌仪测量玻璃基片的平面度,波长范围:0.8mm—8.0mm。标准:≤0.15μm/20mm。
1.3.1玻璃基片要求(S形翘曲不允许)
序号 厚度 翘曲度(镀膜后) 微观波纹度 1 1.8 ≤0.3%/100mm ≤0.15um/20mm 2 1.1 ≤0.3%/100mm ≤0.15um/20mm 3 0.7 ≤0.3%/100mm ≤0.20um/20mm 4 0.55 ≤0.3%/100mm ≤0.25um/20mm 1.4磨边倒角标准
提供的导电膜玻璃已经过磨边倒角处理。磨边为R型边(磨边规格见插图),四个角倒角(倒角边经过磨边处理),大角用来标识拉引方向和镀膜面(倒角尺寸见插图)。
0.2mm≤a≤1.0mm
c=1.5±0.5mm d=5.0±1.0mm
e=2.0±1.0mm
1.5 表面质量
缺陷按分布位置可分为表面缺陷和玻璃体缺陷,按照缺陷形状可分为点状缺陷和线状缺陷。点状缺陷尺寸定义为d=(L+W)/2。线状缺陷W指的是缺陷的最大宽度。
1.5.1 TP型LCD用导电膜产品表面质量见下表
№ 缺陷分类 标准范围 测量方法 1 点状玻璃体缺陷
d=(L+W)/2 d≤0.05mm 不计
0.05 mm<d≤0.30mm 允许4个/片
d>0.30mm 不允许 裸眼
40W日灯光光照条件
距离玻璃30cm 2 线状玻璃体缺陷 W≤0.03mm 不计
0.03mm<W≤0.10mm 允许1个/片,长度<2 mm
W>0.10mm 不允许 3 点状玻璃面缺陷d=(L+W)/2 d≤0.05mm 不计
0.05 mm<d≤0.20mm 允许4个/片
d>0.20mm 不允许 4 划伤 W≤0.03mm 不计
0.03mm<W≤0.07mm 允许3个,总长度<6mm/片
W>0.07mm不允许 6 针孔
d=(L+W)/2 d≤0.03mm 不计
0.03 mm<d≤0.20mm 允许4个/片
d>0.20mm 不允许 6 崩边 长度≤3.0mm,宽度≤1.0mm,深度≤1/2玻璃基片厚度, 总长度≤10%边长 7 未磨边 不允许 8 裂缝 不允许 9 沾污 使用酒精等一般清洗剂经过正常清洗过程后清洗不干净的沾污不允许 10 漏镀 漏镀导致断路不允许 11 边缘区 距边缘3 mm 12 磨伤,斑点 不允许
1.5.2玻璃镀膜后表面质量经过100%在线检验,裸眼使用反射光法或透射光法在距玻璃30cm处检验(见插图)
膜层质量
2.1 Si02膜层标准
№ 膜层指标 标准范围 测量方法 1 膜层厚度 200±50? Alpha-step500表面形貌仪 2 透过率 ≥90% 分光光度计 3 阻挡层性能 <10μg/dm2 夹具夹持96度煮48小时用原子吸收光谱法测量
2.2 TP型LCD用导电膜层标准
品级 标识
面电阻 控制
面电阻 透过率 刻蚀时间 膜层厚度 A 70-90Ω/□ 70-90Ω/□ ≥90% ≤65S 250?±50?
2.3 ITO膜层的稳定性
№ 膜层特性 标准范围 测试方法 1 刻蚀时间 ≤65S 刻蚀液成分:HCl: H2O :HNO3=50:50:3
刻蚀温度:60℃ 2 热稳定性 Rt/R0≤15
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