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2光栅式传感器 2.6.1 光栅的结构 玻璃或金属板上均匀刻线 刻线处不透光，未刻线处透光 线宽a，缝宽b，栅距W 栅线密度：20～125线/mm 短光栅：指示光栅 长光栅：主光栅、两尺小角度、小缝隙叠合?形成光栅 两尺相对移动时，产生莫尔条纹。 与光源配合测量长度——计量光栅 2.6.1 光栅的结构 光栅传感器的特点 高精度、高分辨率 0.5um; 大量程，达数米； 动态、数字化测量； 环境要求高，仅次于激光干涉传感器 计量光栅的种类 长光栅与圆光栅(径向、切向) 金属光栅与玻璃光栅 透射光栅与反射光栅 振幅光栅与相位光栅 2.6.2 莫尔条纹 莫尔条纹的光学原理 相位光栅用衍射理论解释 振幅光栅用几何光学解释 光栅相互遮光?莫尔条纹 若两光栅栅距相等：W=2a=2b,两栅夹角θ； 主光栅移动一个栅距，莫尔条纹移动距离B： 莫尔条纹有放大作用，放大倍数1/θ 2.6.3 光栅式传感器 光栅传感器的指示光栅 四裂相光栅，由4部分组成； 每一部分完全相同，只是刻线相差W/4＋nW; 每部分产生的莫尔条纹亮度相位差为90° 设： 2.6.3 光栅式传感器 为消除直流分量(平均光强)的影响，令： U1与U2是两路相位差90°的正弦信号 经过过零触发实现位移的测量； 两路信号可以进行位移方向辨别； 通过细分电路进行电子细分，提高分辨率 细分倍数有4，8，16，32，64，… 2.6.4 莫尔条纹的辨向与细分 位移大小的测量 莫尔条纹是明暗相间的光带； 相邻亮条纹之间的间距＝光栅的栅距W； 对亮条纹计数可的位移的大小：S＝NW N：亮条纹计数，W：光栅常数 位移辨向 光栅两路输出U1与U2两路信号相位相差90° 通过比相可知位移的方向： 2.6.4 莫尔条纹的辨向与细分 位移辨向 过零触发为方波 方波之一(测量脉冲)的上升沿用于位移计数(U1红色)； 光栅右移时(+)，U2总是超前于U1 90°：U1↑→U2＝1 光栅左移时(-)，U2总是滞后于U1 90°：U1↑→U2＝0 用测量脉冲计数时根据参考脉冲的电平，可以辨别位移的方向 2.6.4 莫尔条纹的辨向与细分 2.6.4 莫尔条纹的辨向与细分 莫尔条纹的细分： 细分的作用： 提高测量的分辨率 细分的定义： 将莫尔条纹信号的一个周期等分为n等份 每份对应光栅位移W/n n越大，测量的分辨率越高 n称为细分倍数,n=4,8,16,32,64,…… 2.6.4 莫尔条纹的辨向与细分 四细分原理 由测量脉冲U1和U2经反相后，得到四路信号 相位依次相差90° 经过零触发成四路方波脉冲信号 经过微分、限幅、半波整流后得到四路窄脉冲 四路窄脉冲信号相或得到计数脉冲 计数脉冲间隔W/4 用任意相邻两路方波辨向 * 光栅式传感器 a W b 径向圆光栅 切向圆光栅 B B W θ 运动对应关系 位移放大作用 误差平均效应 θ＝0.004rad时，0.23。 B=250W u1 u3 u2 u4 W/4 W/2 W u1 u3 u2 u4 状态 序号 测量脉冲 状态 参考脉冲 状态 位移 方向 计数器 操作 1? 正跳变 ↑ 低电平 1 正 加1 2? 正跳变 ↑ 高电平 0 负 减1 3? 其 余 ? 保持 输出 A B 可逆计数器 莫尔条纹计数原理 *