基于螺杆啮合原理(精选).docVIP

基于螺杆啮合原理， 通过数学推导，得到单头等螺距梯形内凹型线的完整型线方程， 包括齿面方程、端面截形以及轴向截形。给出了面积利用系数公式以及理论抽速公式，讨论了型线中各参数对干式螺杆真空泵的性能的影响。最后运用Solidworks 软件建模， 通过模拟啮合，验证了型线方程的正确性—拥有完整的啮合线，且啮合运转过程中不会发生齿面干涉。 　　20 世纪90 年代，随着半导体工业和液晶显示器制造工艺的不断发展， 对清洁真空环境的要求越来越高， 传统的油封式机械泵的返油问题日益尖锐， 急需一种运行稳定可靠， 且抽气腔内完全无油的新型真空泵， 干式螺杆真空泵顺应而生。其具有结构简单紧凑， 运行稳定可靠，可直排大气，抽气腔内完全无油等特点。 　　干式螺杆真空泵的核心部件是一对相互啮合的螺杆转子，转子型线的优劣直接影响到泵的整体性能、运行的稳定可靠以及制造成本。早期的螺杆真空泵型线多源自双螺杆压缩机， 如多头双边对称圆弧型线，具有抽速大，结构紧凑的特点，但极限真空度低，转子设计加工难度偏大， 逐渐被单头型线所取代。单头型线按照截面形状分为单头矩形截面型线和单头梯形截面型线， 其中梯形截面型线在转子齿根强度以及面积利用系数方面具有明显的优势。单头等螺距梯形内凹型线是目前国内外厂商最为常用的一种型线， 其综合性能优秀，密封性能良好，面积利用系数大， 且解决了转子的齿面干涉问题，故为广泛采用。 　　螺