PNP双极型晶管的设计_课程设计.docxVIP

目 录 一·课程设计目的与任务……………………………………1 二·设计的内容………………………………………………1 三·设计的要求与数据………………………………………1 四·物理参数设计……………………………………………2 4.1各区掺杂浓度及相关参数的计算……………………2 4.1.1各区掺杂浓度 …………………………………4 4.1.2迁移率……………………………………………4 4.1.3扩散系数与电阻率………………………………5 4.1.4少子寿命和扩散长度……………………………5 4.2 集电区厚度Wc的选择………………………………6 4.3 基区宽度WB…………………………………………7 4.5 扩散结深的设计……………………………………9 4.6 芯片厚度和质量……………………………………10 4.7 晶体管的横向设计、结构参数的选择……………10 五、工艺参数设计…………………………………………11 5.1 工艺部分杂质参数…………………………………12 5.2 基区相关参数的计算………………………………14 5.3 发射区相关参数的计算……………………………15 5.4 氧化时间的计算……………………………………16 六、物理参数与工艺参数汇总……………………………17 七、工艺流程图………………………………………… 19