磁控溅射常用英文.docVIP

English Training 1. 设备设置及操作 Roll Coating SystemPretreatment 预处理，前处理 Lamination 贴膜 Slitting 切膜 Process data 工艺参数 Roll data 卷绕参数 Film thickness 膜厚 Diameter 直径 Tension 张力 Setup value SV 设定值 Present value PV 实际值 Line speed 运行速度 Length counter 长度计数 Remain counter 剩余长度 Taper 张力梯度 Target life 靶材寿命 Vacuum 真空 ATM 大气 Auto 自动 Manual 手动 Main roll 主鼓 Cooling roll 主鼓 Trend 趋势 Start 开始，启动 UW unwinder 放卷 RW rewinder 收卷 Nip roll 压紧辊 Guide roll导向辊 Centre 中间 Servo 伺服 Buzzer 蜂鸣器 Heater 加热器 Temperature 温度 Button 按钮 Direction 方向 Return 返回 All Hivac Valve Control 所有的高阀控制Gas valve工艺气体阀门 Voltage 电压 Current 电流 Power 功率，电源 Pressure 压力 Control 控制 Interlock 互锁 Pump 抽气 Defrost 解冻 Cool制冷 Roll status卷绕运行状态 Chamber door 腔室门 Chamber light 腔室门 ON 开，保持 OFF 关 Open 打开 Close 关闭 Stop 停止 Run 运行 Chuck in 卡轴进 Chuck out卡轴出 Speed up 加速 Speed hold 速度保持 Speed down 降速 Line-Nip roll 压紧辊 Lami roll 贴合辊 Tension meter 张力计 Air gun气枪 Length display 长度显示 Forward 向前，正方向 Reverse 反转 Inverter motor 变频电机，变频马达 Rotation 旋转 Inspection 检查 Recipe 菜单 Spare 备用 Static power 静电棒电源 2.辅助设备 RCM在线电阻测试仪 Sheet resistance 方阻 PEM光谱监控仪 Percentage 百分比 RGA残余气体分析仪 Marking 记号 Connection 连接 Disconnection 断开连接 Filament灯丝 Error 错误 Nitrogen 氮气 Water 水 Argon 氩气 Helium 氦气 Oxygen 氧气 Leak 漏气 3.常见真空泵TMP全称Turbo Molecular Pump分子泵 MBP全称 Mechanical Booster Pump罗茨泵 CP 全称Cryo pump 低温泵 Compressor 压缩机 DP 全称diffusing pump 扩散泵 全称dry pump 干泵 RP Rotary Pump 旋片泵 RV Roughing Valve 粗抽阀 SRV Slow Roughing Valve 慢抽阀 FV Fore-line Valve 前级阀 VV Vent Valve 放气阀 Regen cryo selregeneration cryo-pump selection自动再生低温泵选择 MFC全称 mass flow controller 流量计 HIVAC VALVE 高真空阀 分子泵的几个状态 A Acceleration 加速 N Normal 正常 B braking 降速 F Failure 失败4.报警信息 Fault reset 报警复位 Warning 警告 Alarm 报警 UW Tension Fault 放卷张力错误 RW Tension Fault收卷张力错误 Cathode Water Flow Sensor靶材冷却水流量传感器 Uw Rw DC BB Gun Water Flow Sensor 收放卷DC B/B冷却水流量传感器 Turbo Pump Water Flow Sensor分子泵冷却水流量传感器 Dry Pump MF Power Water Flow Sensor干泵及中频电源冷却水流量传感器 Alarm CryoPump21 stop 低温泵21高温高真空阀关闭报警 MF Voltage alarm中频电压