薄膜太阳能电池课程需掌握知识点.pptVIP

氢化物分解 还原反应 还原反应是将含有欲沉积物质的化合物被还原剂还原，并沉积在衬底上。 还原反应的特点是具有正的反应热，是在高温下进行的反应 通常氢气作还原剂，同时也用它作载气 这里反应是可逆反应 歧化反应 具有歧化作用的元素能够生成几种氧化态的气态化合物，在反应过程中，由于反应物在较低温度下不稳定，一部分被氧化成高价的比较稳定的化合物，另一部分被还原成该元素的原子沉积在衬底上进行外延生长。 利用歧化反应，一般都在多温区炉内进行，至少需要两个温区。 MOCVD的主要缺点 1. 有机金属原料一般有毒、易燃，易爆 必须配置尾气处理系统 硅薄膜太阳能电池 HIT太阳能电池 本征非晶硅薄膜钝化单晶硅表面，掺杂非晶硅薄膜作为太阳能电池的发射极。 优点： 1. 光电转换效率高，与传统晶体硅太阳能电池效率基本相当。 2. 整个制备过程低温(200oC)，能耗低。 3. 制备过程耗时短，进一步降低能耗。(数十秒即可 完成发射极的沉积过程) 4. 开路电压高，温度系数低(Eff.%/oC)。 HIT太阳能电池结构 HIT太阳能电池制备关键技术 1. 硅片装入腔室前，HF漂洗硅片。 2. 沉积薄膜前，H处理硅片表面。 3. 本征a-Si:H薄膜钝化硅片。 4. 发射极的厚度及掺杂浓度的控制。 1. 1 硅片装入腔室前，HF漂洗硅片 目的： (1) 去掉清洗过程中硅片表面形成的自然