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超纯水EDI设备及工艺流程图 超纯水的制备 超纯水情况简介 超纯水制备技术及应用 半导体业超纯水制备工艺流程 1 2 3 4 超纯水制备新技术 基本概况 超纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.2MΩ*cm极限值（25℃）。 纯度极高的水。集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。 http://www.RedO 超纯水简介 纯水 是既将水中易去除的强电介质去除，又将水中难以除去 的硅酸及二氧化碳等弱电解质去除至一定程度的水。纯水的含盐量在1.0mg/L以下，电导率小于50μs/cm。 超纯水（高纯水）是将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在0. 3mg/L以下，电导率小于 0. 2μs/cm。 ... 纯水与超纯水 超纯水 是美国科技界为了研制超纯材料（半导体原件材料、 纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或 其它适当