低失效片EL与电性能分析及预防方法.pptVIP

单击此处编辑母版标题样式 * 单击此处编辑母版文本样式 第二级 第三级 第四级 第五级 * * * 低失效片EL与电性能分析及预防方法 工 艺 技 术 部 李 可 2015.10.31 失效片 低效片 异常片 目录 失效片 1.隐裂 2.PECVD放反 3.刻蚀放反 4.未刻通 5.铝浆污染 6.擦拭片 7.未刻蚀 8.未扩散 9.细栅线烧穿 10.未完待续 失效片 1.隐裂 EL图片特征：该类图片反映出正常电池片某处有一条黑线，为隐裂片。 电性能情况：Rsh fail 失效 相比正常片：电压、电流、填充、效率略低。 形成原因：由于隐裂的存在，使裂纹处的漏电较大，旁路电阻变小，引起失效。 失效片 2.PECVD放反 EL图片特征：该类失效片加正向电流时，漆黑一片，表示全片均无电流通过。 电性能情况： Irev2失效 相比正常片：电压基本为0、电流填充极低、串联较大、效率极低。 形成原因：该类失效片是由于人工操作不当造成的，是由于刻蚀下料或PECVD上料人员操作不当，导致扩散面放反所致。 预防措施：宣导生产注意。 失效片 3.刻蚀放反 EL图片特征：电池片四周发亮，其余部分全黑。 电性能情况： Irev2失效 相比正常片：电压较低、电流极低、串阻很大、并联、填充效率很低。 形成原因：该类失效片也是由于人工操作不当造成的，是由于扩散下料或刻蚀上料人员操作不当，导致扩散面放反所致。 预防措施：宣导生产注意。 失效片 4.边缘漏电、未刻通 EL图片特征：无明显特征 电性能情况： Rsh fail 失效 相比正常片：电压、电流、填充、效率均较低。 形成原因：1.刻蚀工序刻蚀槽边缘刻蚀效果不好导致边缘漏电，并联低。 2.刻蚀槽前卡叠片。 3.其他情况。 预防措施：1.刻蚀开线时需测试减薄量，减薄量正常方可投片。 2.刻蚀异常片及时返工，返工片不可下传。 失效片 5.铝浆污染 EL图片特征：无明显特征 电性能情况： Rsh fail 失效 相比正常片：电压、电流、填充、效率均较低。 形成原因：电池片受丝网2道铝浆正面或侧面污染。 预防措施：1.宣导丝网生产注意工艺卫生，台面纸及时更换。 2.手套沾到浆料及时更换，严禁接触硅片。 3.丝网2/3道严禁手动接片，避免产生污染。 失效片 6.擦拭片 EL图片特征：无明显特征 电性能情况： Rsh fail 失效 相比正常片：电压、电流、串联、填充、效率均低。 形成原因：丝网3道产生的异常片，手动接片用酒精未擦拭干净就下传导致。 预防措施：宣导生产注意，擦拭干净后方可下传。 失效片 7.未刻蚀 EL图片特征：无明显特征 电性能情况： Rsh fail 失效 相比正常片：电压电流略低、串阻略低、填充较低、效率较低。 形成原因： 1、刻蚀槽泵浦开关被关闭。 2、刻蚀槽药液过少，药液不能达到规定液位，导致硅片未能沾到药液 3、刻蚀槽液位感应器损坏，导致泵浦停止运行。 预防措施： 1、开机必须检查各槽泵浦正常运行、液位达到规定标准后才能生产。 2、生产中途严禁关闭泵浦开关。 失效片 8.未扩散 EL图片特征：未扩散即没有PN结、EL测试未全黑。 电性能情况： Irev2失效 相比正常片：电压电流极低、串阻很大、并联填充效率都很小。与PE放反类似。 形成原因：未进行扩散工序。 预防措施：宣导生产注意。 失效片 9.细栅线烧穿 EL图片特征：该类失效片外观上看极像虚印片，但在断线处有融化的银浆的痕迹 电性能情况： Rsh fail 失效 相比正常片：电压、电流正常、填充、效率较低。 形成原因：如果单批次仅有少数几片为该类失效，可判断为隐裂所致，仔细观察漏电处有细小裂纹。解决方法参考隐裂片处理。 预防措施：如果连续出现，且位置近似，怀疑是由于污染所致，此时应进行履带的检查，檫拭。全线检查工艺卫生。 低效片 暂时未整理，后续会继续分析 异常片 异常片为效率低，但不至于为低失效的电池片。需要实验验证，耗时较长。暂时未整理，后续会继续做相关破坏性实验分析。 谢 谢！ 单击此处编辑母版标题样式 * 单击此处编辑母版文本样式 第二级 第三级 第四级 第五级 * * *