Nano Application of Capacitance Bridge1.pptVIP

Capacitance Bridge – nano electronics applications 电容电桥及其在纳米电子学中的应用 Outline / 内容提要 Andeen-Hagerling Inc. 简介 商用的最准确的电容/损耗电桥和最稳定的标准电容供应商 1966 Dr.Andeen开始改进当时的商用电容电桥 1968 Hagerling 进 CWRU(美国凯斯西储大学)物理系PhD program,开始与Andeen合作 1978 Andeen和Hagerling开始为大学和 实验室做特殊定制的电容桥和电容标准 1982 Andeen-Hagerling Inc. （安登?海格林公司，简称AH）成立 1982 第一台电容电桥 AH2500 问世 目前,数千台AH的电容电桥和电容标准 在超过50多个国家广泛使用 AH简介 AH电容电桥和电容标准的超高灵敏度,准确度,稳定性成就其为世界各国的电容计量标准 同时这些特征又使其成为物理,化学,生物,工程,国防等领域进行微小变化研究的最有力的工具 40多年的专业设计、制造经验的积累--成就了高品质的产品 AH的部分客户 大学 斯坦福Stanford 麻省理工MIT 哈佛Harvard 伯克利UC Berkeley 普林斯顿Princeton 康奈尔Cornell 圣母大学Univ. of Notre Dame 宾州大学Penn State University 加州理工California Inst of Tech. 波士顿学院Boston College 加州大学洛杉矶分校UCLA 普渡大学Purdu 佛罗里达大学University of Florida 马里兰大学University of Maryland 德拉华大学University of Delaware 清华大学 中国科技大学 …. 公司 因特尔Intel IBM 惠普Hewlett-Packard 施乐Xerox 霍尼韦尔Honeywell 安捷伦Agilent 波音Boeing 摩托罗拉Motorola MKS Instruments 朗讯Lucent Technologies 3M 洛克希德-马丁Lockheed Martin 天合TRW 斯伦贝谢Schlumberger 德州仪器Texas Instruments 伊顿Eaton AVX Corp …… 北京美亚先科技有限公司简介 ?致力于美国和亚洲的先进技术与中国市场的融合,共享,与发扬.独 家代理数家美国,欧洲,和亚洲的高科技产品(包括AH的产品).涉及 应用领域：电子,半导体测试,与机电一体化 ?为美国的中小高科技公司提供销售咨询与管理服务，帮助他们增 长在亚洲和中国的业务 ?为中国的中小高科技公司提供销售咨询与管理服务，帮助他们增 长在美国的业务 ?目前的合作伙伴： 美国Andeen-Hagerling公司 美国Avtron公司 美国Keithley(吉时利)仪器公司 美国Tegam公司 台湾EverBeing奕叶国际有限公司 美国Vektrex公司 台湾Chief SI巨克富科技有限公司 美国Ohm-Labs公司 韩国Withlight(光色电测量系统)公司 英国Time Electronics公司 半导体器件电学特性表征 IV Keithley 4200, Keithley 4200PIV, Agilent 4156, Agilent B1500, Agilent B1500PIV CV (微米或亚微米器件） Keithley 4200 CVU, Agilent 4284, 4294, Agilent B1500CVU CV (亚微米器件, NWs, CNT, QD…) AH2550 (单频）， AH2700 （多频） 技术难点：aF和低fF级的信号，但有pF级的背景杂 散电容 典型应用 - CV测量 扫描电压，例：从-5V到+5V，步进0.2V 在每个直流电压偏置点加小交流激励(从极低频至高频) 测量对应每个直流电压偏置点的电容值 电容表测量原理图 电容电桥—完全不同工作原理 电容表与电容电桥的比较 电容电桥： 超高灵敏度，低噪声，超高分辨力，超高准确度 能有效地测量电容的最低值：2X10-17 F 基本准确度：3X10-6 电容表： 更宽动态范围(但不够灵敏),测量速度快,更宽频率范围 能有效地测量电容的最低值：2X10-13 F 基本准确度：3X10-3 纳米电子学表征应用介绍 1 “Measurement of