W-FAC-COM-030 Rev.000洁净室运行指导.docVIP

Document Control Document number: W-FAC-COM-030 Subject: Clean room operation Instruction 标题: 洁净室运行指导 Fujisawa reference no:N/A Revision 版本 : 000 Prepared by 起草人: Hui Zheng Department 部门 : Facility/FM Content Subject Page 1.0 目的 3 2.0 范围 3 3.0 职责 3 4.0 定义 3 5.0 程序 3 6.0 相关资料 6 7.0 记录 6 1.0 目的 规范运行、操作程序，确保日立设施管理的流畅。 2.0 范围 适用于日立龙岗工厂洁净室系统。 3.0 职责 3.1 运行技术员：负责洁净室运行参数的监控。 3.2 运行班长：带领本班组技术员对日立龙岗工厂的设施运行进行监控，发现问题、解决问题，并按照汇报程序及时向上级汇报。 3.3 工程师：负责运行操作程序的编写、更新、培训，对运行操作提供技术支持，发现问 题、分析问题、解决问题，并按照汇报程序及时向上级汇报； 4.0 定义 RAU Recycle Air Unit 循环空气机 FFU Fan Filter Unit 风机过滤机 AHU Air Handling Unit 空气处理机 MAU Make up Air Unit 新风机 DCP Dry Coil Pump 三次泵 5.0 程序 5.1 系统简介： 本系统包括2台新晃新风处理机，设备安装在A栋一层新风机房，2台并列运行；36台 RAU，设备安装在A栋洁净室的回风廊处；1536台FFU，设备安装在洁净的天花板上；1台AHU设备安装在干鞋区的天花板上；10台传递窗，设备安装在洁净室内；25台风淋室，2个风淋通道；3台排风机，设备安装在A栋一层新风机房。系统的作用就是将室外新风经过过滤，预热，加湿，加压，化学过滤及加热处理后送入洁净室内的高架地板下，FFU将回风廊处的风加压经过高效过滤器过滤后送入洁净室室内吹到高架地板下，和新风混合后被吸入RAU的风机内经过表冷器处理后再送到FFU的入风口。三台排风机，将生产中产生的废气排到室外。AHU将为干鞋区提供热风，将洗干净的洁净鞋吹干。风淋室和风淋通道在工作人员进入洁净室时吹净工作人员身上的灰尘。 系统建设商：日立建设 联系电话：0755系统要求： Facility Parameter Specification Actual record frequency CL 100 CL 10k Cleanroom Temperature 23 ± 2 oC 23 ± 2 oC On line Humidity 50 ± 10% rh 50 ± 10% rh On line Pressurization ≥ 12 Pa ≥ 12 Pa On line Air Changing Rate 0.35 m/s 0.35 m/s Once a year (Turbulent Clean room) 0.45 m/s 5.2启动前的检查： 5.2.1 检查MAU盘柜上电压是否正常，开关状态； 5.2.2 检查冷冻水水温及水压是否正常； 5.2.3 检查热水水温及水压是否正常； 5.2.4 检查RAU盘柜上的电压是否正常； 5.2.5 检查FFU控制盘柜上的电压是否正常； 5.2.6 检查排风机控制盘柜上的电压是否正常； 5.2.7 检查DCP盘柜上的电压是否正常 5.3 启动（远程）： 5.3.1 将MAU控制柜的转换开关置于“远程”； 5.3.2 在控制系统画面上启动MAU； 5.3.3 在控制系统画面上启动DCP； 5.3.4 现场启动RAU的风机； 5.3.5 现场启动FFU的主电控制回路； 5.3.6 设定好适当的转速，在FFU控制画面上点击系统全部运行， 启动所有的FFU， 5.3.7 在控制系统画面上启动