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设备名称、技术参数及功能要求 一. HPR20质谱仪技术指标 1.应用需求： 在线质谱仪可执行催化反应、吸附／脱附、TPD、TPR、TPO、TPRxTGA（热重分析仪）、IR（红外）、催化剂评价装置、化学吸附仪等仪器联机使用，进行逸出气体的在线检测，分析快速、灵敏，操作方便，性能稳定。 2.技术指标： 2.1质量数范围：1～300amu 2.2 四杆类型 *2.3气体取样系统： a）内置惰性石英毛细管，外部为不锈钢套，柔韧，可弯曲。 b) 加热温度至200℃，2m长 c) 300ms内对于气体浓度的变化做出反应 d) 取样管流量：1～20sccm，可调节 e) 取样压力：100mbar～2bar，自适应 f) 取样响应时间：≤150ms/米毛细管 g) 进样系统无隔离阀，不采用外部加热套的加热方式 2.4真空系统：60 (/sec涡轮分子泵一套、m3/hr涡旋泵2.5 检测极限：5ppb 2.6测量通道：200个，MID 模式 2.7最小扫描步阶：0.01amu 2.8快速扫描速度：100amu/s 2.9最小检测分压：法拉第杯检测器1×10－10mbar;电子倍增器5×10－14mbar 2.10压力显示：具有真空计在仪器外部显示质谱仪工作压力 2.11外部信号接口：可将温度（需转换为模拟信号）等接入质谱仪并在软件上显示 2.12软离子化技术：离子源可改变电离电压4～150ev