微执行器导论分解.docVIP

微执行器导论 —读书笔记 摘要： 微执行器可用来产生力和机械运动，是微机电系统中的重要组成部分。根据敏感源和执行方式的不同，微执行器主要分为静电执行器、热执行器、压电执行器、磁执行器等四大类。本文从原理、制备及应用实例等方面分别对这几类执行器进行了详细的介绍，并简单总结了不同执行器的独特性能和优缺点。 1、简介 MEMS技术的迅速发展带来了传感器和执行器的革命性变化。传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，一定规律电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。接收控制信息并对受控对象施加控制作用 其中C为电容，V为静电势，d为两极板之间的距离。由上式可以看出，在其它条件不变的情况下，静电力的大小随着平板间距的减小和静电势的增大而迅速增加。静电力是一种短程力，当间隙在几个微米量级时最为有效，电容式静电执行器的电压上限取决于电介质的击穿电压。目前应用最多的是垂直于电极的线性运动和转动，可通过增大初始间距来产生更大的运动范围，但力的大小却因此受限，故应注意运动范围和可用力的性能折中，目前可通过一种抓爬式执行器设计来获得远距离的面内运动。 大多数静电执行器至少包含一个由弹簧支撑的可变形平板，在该类器件的设计中要考虑可变形平板在某一偏