单晶炉工艺操作规范.docVIP

XX光电材料有限公司 文件编号Q/WS9308-8-2008 TDR-80单晶炉工艺操作规范 简要 版本号：A/0 页码： 共9页 生效日期：2008年4月21日 取单晶作业 1 　 准备 　 作业内容 注意事项 1 按规定穿好服装，戴好劳保手套 2）准备好有关工具和取晶栏 　 2 　 取出单晶 　 1）确认炉内恢复常压，打开副室小门 2）按下副室升按钮，升起副室炉筒 *一次升到位 3）把副室炉筒慢慢侧移，同时把接晶盘移到 *晶棒受到撞击会造成 单晶下方，稳住晶棒，避免使其受到撞击 籽晶或细颈断裂 4）把取晶栏放在晶棒正下方，移开接晶盘 *晶棒底下严禁站人 5）按下晶快降按钮，将晶棒降入取晶栏， 以籽晶基本不受力为准 6）按住细颈，用钳子将细颈掐断，使籽晶上 *重锤高速旋转会造成 保留足够长（尽量维持原长的细颈）.捉住 钢丝绳损伤 钢丝绳使重锤慢慢旋转，取消拧力后再放手 7）籽晶如需更换，把旧籽晶取下放入待清洗 *注意重锤温度很高 籽晶盒 8）重锤升入副室炉筒，升起炉盖移到侧面 9）准时送入检测区 *晶棒严禁磕碰 单晶炉拆炉作业 1 准备 　 作业内容 注意事项 1）按规定穿好服装，戴好口罩、手套 2）准备好拆炉工具等 　 2 　 取出石墨 件 1）放好不锈钢台车 2）戴好耐高温手套 3）用专用工具依次取出导流筒、保温大盖 4）取