第11章+电子衍射结构浅析.pptVIP

第11讲 电子衍射结构分析 主要内容 透射电镜的基本结构和成像原理 主要部件的结构和工作原理 电子衍射概述 3.1 电子衍射的特点（与X—射线衍射对比） 1)电子波的波长比X—射线短的多,在同样满足布拉格定律时,它的衍射角θ非常小,约为10-2rad, 而X射线衍射时, 最大角可接近π/2. 原因: 根据布拉格定律: sinθ=λ/2d ≤1 常见晶体的晶面间距为1—0.1nm范围，所以用于衍射的X射线波长在0.05—0.25nm范围, θ接近π/2. 通常透射电镜的加速电压为100—200kV,即电子波的波长在10-2—10-3nm数量级, θ约为10-2rad. [011]?∥[012]?；[111]?∥[001]? In740合金晶内魏氏组织?相的TEM形貌及其电子衍射图 1 透射电镜的基本结构和成像原理 电子光学系统 电源与控制系统 真空系统 透射电子显微镜的构造 电 子 光 学 系 统 照明系统 成像系统 观察记录系统 电子枪 聚光镜 物镜 中间镜 投影镜 透射电镜的构造原理和光路图 1 电子枪 2 阳极 3 聚光镜光阑 4 聚光镜 5 样品 6 物镜 物镜光阑 选区光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或底片 照明系统 成像系统 电子光学系统中各部件的作用（1） 电子枪 照明系统 聚光镜 产生束斑直径几十微米 的高速电子 调节照明强度、孔径角 和束斑大小 电子光学系统中各部件的作用（2） 成像系统 物镜 中间镜 投影镜 形成第一副高分辨电子 显维图象，透射电镜的 分辨率主要取决于物镜 控制电镜的总放大倍数； 控制成像或衍射操作 把中间镜成像进一步 放大或缩小，达到照相 要求 透射电镜成像与衍射操作的原理（1） 中间镜的物平面与 物镜的焦平面重合 中间镜的物平面与 物镜的像平面重合 成像 衍射 透射电镜成像与衍射操作的原理（2） 2 主要部件的结构和工作原理 样品平移与倾斜装置(样品台) 消像散器 光阑 1) 样品平移与倾斜装置(样品台) 样品台的作用: 承载样品; 使样品在物镜极靴孔内平移、倾斜、旋转 2）消像散器 把固有的椭圆形磁场校正成接近旋转对称的磁场 3）光阑 光阑 聚光镜光阑 物镜光阑 选区光阑 限制照明孔径角 衬度光阑，提高成像衬度 视场光阑，特定视场 成像或衍射分析用 3 电子衍射概述 电子衍射的特点（与X—射线衍射对比） 单晶体、多晶体及非晶体的电子衍射花样特征