湿法刻蚀的工艺优化实施方案资料.pptVIP

项目实施的目的意义： 太阳电池的转化效率是衡量一个光伏企业技术水平的重要标志，转化效率的提高也是对硅材料相对成本的降低，湿法刻蚀的使用能明显提高电池转换效率提高产品质量，可大幅度增加企业的效益。 实施内容 通过湿法刻蚀的采用，进而提高并联电阻、提升电池的短路电流、提高开路电压，并最终达到提高电池转换效率的目的。 什么是湿法刻蚀 通过滚轮和液体张力使硅片漂浮在刻蚀液液面上，与刻蚀液接触的硅片背面和周边通过以下反应温和地被刻蚀掉，能够同时达到周边刻蚀和背面抛光的效果。 Si+2HNO3+6HF=H2SiF6+2HNO2+2H2O Si+4HNO2+6HF=H2SiF6+4NO+4H2O 上 片 刻蚀槽 H2SO4/ HNO3/ HF 水 喷 淋 碱洗槽 NaOH 水 喷 淋 去PSG槽 HF 水 喷 淋 下 片 吹 干 风 刀 为什么要对电池片进行刻蚀 在扩散的过程中，硅片的外围表面导电类型都变成了n型。此工序就是刻蚀硅片边缘，以使前表面与背表面的n型层隔断，防止电池做出来以后正负极出现短路。 腐蚀深度影响绝缘电阻，进而影响电池参数（主要是转换效率和并联电阻等）。厂家给了一个腐蚀深度的大概范围，经过我们一段时间的试验摸索，最终将腐蚀深度确定在了1.2±0.2μm的范围，并且同时绝缘电阻保持在1KΩ以上。 ①提高并联电阻 效率16.2 漏电流0.3A