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第3篇 物理传感器 3章 电阻式传感器 4章 电容式传感器 5章 电感式传感器 6章 压电式 传感器 7章 光学式传感器 8章 热电式传感器 本章内容 3.1 电位器式传感器 3.2电阻应变式传感器 3.3 固态压阻式传感器 3.4电阻式传感器的测量电路 3.5电阻式传感器的应用 其他内容参看教材44-44页 3.1.5 电位器的负载特性 上面讨论的电位器空载特性相当于负载开路或为无穷大时的情况,而一般情况下,电位器接有负载,接入负载时,由于负载电阻和电位器的比值为有限值,此时所得的特性为负载特性,负载特性偏离理想空载特性的偏差称为电位器的负载误差。 带负载的电位器的电路如图所示。电位器的负载电阻为Rf,则此电位器的输出电压为 应变式力传感器 S型力传感器 应变片在悬臂梁上的粘贴及受力变形 各种悬臂梁 电子秤 电子天平 电子秤中的各类弹性元件 应变效应 应变是量纲为1的数。通常应变很小,常用10-6来表示。例如,当应变为0.000001时,在工程中常表示为1×10-6或μm/m。在应变测量中,也常称为微应变。 3.3 固态压阻式传感器 半导体应变片的灵敏系数比金属丝式的高50~80倍,但半导体材料的温度系数大,应变时非线性比较严重,使应用范围受到一定的限制。 为什么要使用不平衡电桥 不平衡电桥法用在动态应变测量中。 设R2/R1=n,又因ΔR1R1时,R1R4=R2R3,上式简化为 电桥的电压灵敏度(相对灵敏度)为 ②Su与n有关。在U一定时,由灵敏度取极值的条件,可求得n=1时Su最大。即在U一定、R1=R2、R3=R4时,Su最大。通常这种情况称为电桥的第一种对称形式。此时 而R1=R3,R2=R4则称为电桥的第二种对称形式。 第一种对称形式有较高的灵敏度,第二种对称形式线性较好。 等臂电桥是其中的一个特例。 (3)电桥电路的非线性误差补偿 以上都是基于DR1R1,所以得到的是线性关系。但当应变片感受较大应变时,分母上的DR1/R1项就不能忽略,此时得到的为非线性关系,从而造成非线性误差。在补偿非线性误差时常用的措施如下 ①采用差动电桥。在电桥的相邻两臂接入两个参数相同的应变片,测量时一个受拉应力,一个受压应力,电阻变化量符号相反,数值相等,即构成半桥差动电路。此时 假设 2.血管外血压传感器 传感器置于体外的测量。 图所示为传感器置于体外的有创血压测量,即用血管外传感器测量,是一种常用的血压测量方案。 应变式传感器的核心元件:电阻应变片,试件上的应力变化转换成电阻变化。 金属丝式应变片的结构 视频:应变片 半导体应变片又称为压阻式传感器。 基于半导体材料的压阻效应而制成的一种纯电阻性元件。 压阻效应: 半导体材料的电阻率随作用应力的变化而发生变化的现象。 半导体材料敏感条电阻率的相对变化值与其在轴向所受的应力之比为一常数。即 πl半导体材料的压阻系数。式中1+2μ项随几何形状而变化,πlE项为压阻效应,随电阻率而变化。 当半导体材料受轴向力作用时,电阻相对变化为 实验证明πlE比1+2μ大近百倍,所以1+2μ可以忽略,因而: 灵敏系数 半导体应变片的优点: 体积小,灵敏度高,频率响应范围宽,输出幅值大,不需要放大器,可直接与记录仪连接,使测量系统简单。 电桥电路又叫惠斯登电桥,它是将电阻、电容、电感等参数的变化转换为电压或电流输出的一种测量电路。 3.4 电阻式传感器测量电路 应 变 电 桥 双臂应变电桥 单臂应变电桥 全臂应变电桥 直流电桥:R 交流电桥: R、L、C 不平衡桥式:偏差测量法(动态) 平衡桥式:零位测量法(静态) 工作方式 电源 工作臂 金属应变片的电阻变化范围很小,如果直接用欧姆表测量其电阻值的变化将十分困难,且误差很大。 例:金属箔式应变片的标称阻值R0为100?,灵敏度K=2,粘贴在横截面积为9.8mm2的钢质圆柱体上,钢的弹性模量E=2?1011N/m2,所受拉力F=0.2t,受拉后应变片的阻值R 的变化量仅为0.2?。 所以必须使用不平衡电桥来测量这一微小的变化量,将?R /R转换为输出电压Uo。 把对某物理量敏感的电阻应变材料加工成传感器,作为电桥中的某一臂电阻,或某几个臂电阻,通过电桥的失衡程度(桥路电流或电压)来判断该物理量的大小。 如果直接测应变片电阻的改变,可能很困难。因为测量一个在很大的基值上附加的一个很小的信号是很困难的。利用电桥可以把这个信号的基值去掉,变成了一个在零值附近的信号,
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