传感器第十章半导体传感器(气湿)讲解.pptVIP

主要内容： 1 气敏传感器 2 湿敏传感器 3 色敏传感器 概述 概述 概述 10.1 气敏传感器 10.1 气敏传感器 10.1.1 半导体气敏传感器工作原理 10.1 气敏传感器 10.1.1 半导体气敏传感器工作原理 10.1 气敏传感器10.1.2 半导体气敏传感器类型及结构(1) 电阻型半导体气敏传感器 烧结型气敏器件的制作是将一定比例的敏感材料（SnO2、ZnO等）和一些掺杂剂（Pt、Pb等）用水或粘合剂调合，经研磨后使其均匀混合，然后将混合好的膏状物倒入模具，埋入加热丝和测量电极，经传统的制陶方法烧结。最后将加热丝和电极焊在管座上，加上特制外壳就构成器件。 该类器件分为两种结构：直热式和旁热式。 直热式器件管芯体积很小，将加热丝、测量丝直接埋在金属氧化物半导体粉末材料内烧结而成。加热丝兼做一个测量电极，工作时加热丝通电加热，测量丝用于测量器件的阻值。 10.1 气敏传感器10.1.2 半导体气敏传感器类型及结构(1) 电阻型半导体气敏传感器 10.1 气敏传感器10.1.2 半导体气敏传感器类型及结构(2) 非电阻型半导体气敏传感器 10.1 气敏传感器10.1.3 半导体气敏传感器应用 10.1 气敏传感器10.1.3 半导体气敏传感器应用 10.1 气敏传感器10.1.3 半导体气敏传感器应用 10.1 气敏传感器10.1.3 半导体气敏传感器应用 10.2 湿敏传感器10.2.1 氯化锂湿敏电阻 氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的测湿元件。它由引线、基片、感湿层与电极组成。 * 第10章 半导体式传感器 传感器原理及应用 第10章 半导体传感器 传感器原理及应用 第10章 半导体传感器 半导体传感器是典型的物性型传感器，它是利用某些材料的电特征的变化实现被测量的直接转换，如改变半导体内载流子的数目。 凡是用半导体材料制作的传感器都属于半导体传感器。 其中包括：光敏电阻、光敏二极管、光敏晶体管、霍尔元件、磁敏元件、压阻元件、气敏、湿敏等等。 传感器原理及应用 第10章 半导体传感器 纸 品 木材烘干 湿度传感器 芯片生产要求最高的湿度稳定性 传感器原理及应用 第10章 半导体传感器 气敏传感器 湿敏 传感器 传感器原理及应用 第10章 半导体传感器 气敏传感器是用来检测气体浓度和成份的器件，由于气体种类很多，性质各不相同，不可能 用同一种气体传感器测量所有气体，如： 工业天然气、煤气等易燃易爆的安全监测； 环境保护，有害、有毒气体监测； 酒后驾车，乙醇浓度检测。 传感器原理及应用 第10章??????半导体式传感器 气敏传感器是利用气体在半导体表面的氧化和还原反应，导致敏感元件阻值变化，如： 氧气、NO2等具有负离子吸附倾向的气体，被称为氧化型气体——电子接收性气体； H2、CO、碳氢化合物（烃）、醇类等具有正离子吸附倾向的气体，被称为还原型气体——电子供给性气体。 传感器原理及应用 第10章??????半导体式传感器 当氧化型气体吸附到N型半导体上， 半导体的载流子减少，电阻值上升； 当氧化型气体吸附到P型半导体上， 半导体的载流子增多，电阻值下降； 当还原型气体吸附到N型半导体上， 半导体的载流子增多，电阻值下降； 当还原型气体吸附到P型半导体上， 半导体的载流子减少，电阻值上升； N型半导体与气体接触时的氧化还原反映 传感器原理及应用 第10章??????半导体式传感器 10.1 气敏传感器 10.1.1 半导体气敏传感器工作原理 组成：敏感元件、加热器、外壳； 制造工艺：烧结型、薄膜型、厚膜型。 气敏电阻的材料是金属氧化物，合成时加敏感材 料和催化剂烧结，这些金属氧化物在常温下是绝缘 的，制成半导体后显示气敏特性。 金属氧化物有： N型半导体，如：SnO2 Fe2O3 ZnO TiO P型半导体，如：CoO2 PbO MoO2 CrO3 传感器原理及应用 第10章??????半导体式传感器 电阻型半导体气敏传感器导电机理用一句话描述： 利用半导体表面因吸附气体引起半导体元件电阻值变化，根据这一特性，从阻值的变化测出气体的种类和浓度。 由于空气中的含氧量大体上是恒定的， 因此氧的吸附量也是恒定的，气敏器件阻值也相对固定。若气体浓度发生变化，器件表面将产生吸附作用，其阻值也将随气体浓度变化而变化。根据这一特性，可以从阻值的变化得知吸附气体的种类和浓度。 传感器原理及应用 第10章??????半导体式传感器 10.1 气敏传感器10.1.2 半导体