双室超高真空多功能溅射系统.docVIP

双室超高真空多功能溅射系统 型号：JGP-450 购入时间：2007 价格：480000元 制造厂家：沈阳科学仪器研制中心 安置地点：新校区G楼312 所在单位：理学院物理系 所在地址：上海上大路99号 联系人：马忠权 联系电话：座机电话号码 仪器简介： 采用直流或射频溅射的方法用于单层或多层薄膜制备，反溅清洗及退火处理。系统极限真空： 进样室：6.6E-4Pa，主溅射室：9E-6Pa； 样品加热温度：室温-500摄氏度， 退火温度：室温-800摄氏度。 DC直流电源：N 500W； RF射频电源：N 500W，f 13.56MHz 偏压电源：-200V； 样品尺寸：最大直径为30mm。