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SFJ-261 型氦质谱检漏仪 皖 仪 科 技 目 录 ◎ 1-1概述 4 二 仪器介绍 5 2-1 仪器性能参数 5 2-1-1 SFJ-261 性能参数 5 2-2仪器使用环境 6 2-2-1 SFJ-261使用环境 6 2-3 仪器结构 7 2-3-1 仪器外观 7 2-3-2 内部结构及部件 8 2-3-3 操作面板 9 ? 2-3-3-1 261面板 9 ? 2-3-3-2 261外部接口 9 2-3-4 电子系统示意图 11 2-4工作流程 12 2-4-1系统示意图 12 2-4-2系统工作流程 14 三 使用方法 16 3-1 开始使用（以喷吹法为例） 16 1 启动 16 2 参数设定 19 3 检漏（喷吹法） 27 4 标漏校准 28 5 调零（校零） 28 6 停止 29 7 运行状态 29 8 停机断电 30 3-2 其他检漏方法的操作 30 3-2-1 吸入法检漏 30 3-2-2 背压法检漏 30 四 维护 31 4-1 基本维护项目 31 4-1-1 漏率校准 31 4-1-2 机械泵保养 31 4-1-3 分子泵维护 31 4-1-4 质谱管及离子源清洗 31 五 常见故障和处理 32 5-1 常见故障和处理 32 5-2 错误代码及其排除 33 六 附录 34 6-1 氦质谱检漏仪的工作原理 34 6-2 氦质谱检漏仪的检漏方式 35 6-3常用单位的换算 36 6-3-1 压强单位的换算 36 6-3-2 漏率单位的换算 36 6-4常用检漏方法 37 6-4-1 喷吹法——确定漏孔位置 37 6-4-2 吸入法——确定漏孔位置 38 6-4-3 钟罩法——测总漏率 39 6-4-4 背压法——测总漏率 40 6-4-5 辅助真空系统 41 七 售后服务 42 7-1 售后服务 42 一 概述 1-1 概述 SFJ－261型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用： 科学研究 航空航天汽车制冷军事工业核工业医疗仪器仪表二 仪器介绍 2-1 仪器性能参数 性 能 参 数 机 型 参 数 值 最小可检漏率（Pa.m3/ s） SFJ-261 5×10-12 响应时间（s） SFJ-261 1 启动时间（min） SFJ-261 3min 漏率指示范围（Pa.m3/s） SFJ-261 1×10-3～1×10-1 SFJ-261 环境温度（℃） 0~50 相对湿度 80% 供电电压 单相~220V±10% ,50Hz 最大工作电流（A） 5A 注 意 1、使用本产品前请确保仪器已可靠接地,严禁在没有接地的情况下使用本产品！ 如果因没有可靠接地而造成的仪器损坏或人员伤亡，本公司不承担任何责任。 2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要有良好通风，以防氦气干扰  2-3 仪器结构 2-3-1 仪器外观 2-3-2 内部结构及部件 编 号 部件名称 备 注 1 检漏口 被检工件与检漏仪的接口，KF-25接口 2 接收器 收集氦离子信号并放大 3 离子源 产生氦离子 4 质谱室 离子飞行的腔体 5 真空计接口 共两只，一只用于测量检漏口真空， 另外一只用于测量分子泵排气口真空值 6 分子泵 可使质谱室达到高真空 7 组合阀座 完成气路切换的工作 8 磁铁 为离子旋转提供磁场 9 电磁阀 实现气路的通或断 10 电气控制位置 电气控制都集中在此（高压危险） 11 散热风扇 ----- 12 标漏 漏率参照 14 真空泵 分子泵的前级泵和预抽工件时使用 15 开关电源 为电器部分提供电源 注 不同的机型可能各部件布局略有差异 图片仅供参考，请以实物为准 操作面板 2-3-3-1 261面板 部件名称 部件类型 备 注 触摸显示屏 显示操作 显示设备当前的运行状态,可通过触摸方式更改参数切换显示画面 开始/停止 按钮 开始检漏或停止检漏按钮.长按可对检漏口放入空气,以便更换工件 调零 按钮 按下后可自动扣除当前本底,长按取消调零 2-3-3-2 261外