等比数列的求和-go.pptVIP

第三章 电容式传感器 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 * * 平板电容器的电容量： 基本原理：被测量 --- 电容变化 特点：结构简单，分辨力高，非接触 应用：可在高温、辐射、振动等条件下工作 一、 变极距型电容传感器 初始电容量： 极距变化：δ0 – Δδ --- δ 电容增大： （非线性） 成近似线性关系，所以往往设计成位移在极小范围内变化。 当初始极距较小时，灵敏度提高；但是初始极距太小时，容易引起电容器击穿。改善的办法是在极板间放置云母片。 灵敏度： 一般电容式Sensor的初始电容在20～30pF之间，极板距离在25～200微米的范围内，最大位移应该小于间距的十分之一。 二、 变面积型电容传感器 相对变化： 结论: 灵敏度： (1)传感器输出为线性； (2)灵敏度与初始极距成反比：减小极距 ---提高灵敏度 ， (3)差动结构：提高灵敏度 (a)扇形平板结构； (b)柱面板结构 三、 变介质型电容传感器 电容： 插入式： 应用：测量厚度、高度 线性 应用：微信息检测---测微仪、； 静态测量---金属零件计数 高频信号检测---振动，转速； 特点：分辨力极高（电容值10-7，相对值100%~200%，位移0.01μm） 动极板质量小，惯性小，动态响应好； 非接触，自身发热和功耗小； 结构简单，不含有机材料或磁性材料、对环境适应性强 2) 电容传感器特点及应用 1-测杆： 2-片簧： 3-定极板； 4-动极板： a) 电容式位移传感器： 原理：变介质型 变极距型； b) 电容式厚度传感器： 特点：接触式测量 特点：非接触式测量 应用：纸张、绝缘薄膜等 差动结构：