Lecture25-第六章--阈值电压汇编.pptVIP

Micro Electromechanical System Research Center of Engineering and Technology of Anhui Province * 沟道电导与阈值电压 实际MOS的C-V特性 Prof. Gaobin Xu Micro Electromechanical System Research Center of Engineering and Technology of Anhui Province of Hefei University of Technology Hefei, Anhui 230009, China Tel.: 1座机电话号码62 E-mail: gbxu@hfut.edu.cn Chap.6 MOSFET Lecture 25：§6.3-6.4 Outline 1、阈值电压 Threshold voltage 2、沟道电导 Channel conductance 3、实际MOS的C-V特性 （1）影响C-V特性的因素 ① 功函数的影响 Work function ② 界面陷阱和氧化物电荷的影响 （2）实际MOS阈值电压 （3）实际MOS的C-V特性 反型层在漏源之间的导电通道，称为沟道。由于沿着垂直沟道方向上电子浓度不同，电导率不同。平均电导率表示为： 一、沟道电导 沟道宽度 感应的沟道电荷 沟道电导为： 沟道电导 MOSFET阈值电压VTH是金属栅下面的半导体表面出现强反型、从而出现导电沟道时所需加的栅源电压。 由于刚出现强反型时，表面沟道中的导电电子很少，反型层的导电能力较弱，因此，漏电流也比较小。 在实际应用中往往规定漏电流达到某一值 如50μA 时的栅源电压为阈值电压。从使用角度讲，希望阈值电压VTH小一些好。 阈值电压是决定MOSFET能否导通的临界栅源电压，因此，它是MOSFET的非常重要参数。 二、阈值电压 VG VTH，才出现负的感应沟道电荷QI，则有阈值电压： 或： 强反型时的表面势 强反型时所需要的电压： 三、实际MOS的C-V特性和阈值电压 1. 功函数的影响 对于铝的功函数比P型硅的小 前者的费米能级比后者的高 构成MOS系统，当达到热平衡时，系统的费米能级为常数；功函数差的存在使面对二氧化硅一侧的硅表面形成空间电荷区。空间电荷区中能带将向下弯曲；这意味着当MOS系统没有外加偏压时，半导体表面就存在着表面势 ，且 0。 因此，欲使能带平直，即除去功函数差所带来的影响，就必须在金属电极上加一负电压。 由于金属-半导体功函数差导致空间电荷区能带向下弯曲 铝的相对于SiO2修正功函数 硅的相对于SiO2修正功函数 MOS系统中，应考虑从金属和半导体中的费米能级到二氧化硅的导带边缘的修正功函数 使能带平直，需在金属电极上加一负电压： 表面势大于零 能带将向下弯曲 根据上图，可得硅的修正功函数： 修正亲和势实验值 ： Eg＝1.1eV 图6-11 Al-SiO2-Si结构的能带图 由于接触电势差的出现，使得平带状况所对应的外加偏压VG 0改变为VG VG1。外加偏压VG的一部分VG1用于使能带平直，另一部分VG–VG1起到理想MOS系统的作用。实际系统的电容C作为VG–VG1的函数，与理想MOS系统的电容C作为VG的函数，在形式上应该是一样的。 2. 界面陷阱和氧化物电荷的影响 图6-12 热氧化形成的Si-SiO2系统中的各类电荷 热平衡时MOS系统，还受到氧化层电荷和Si-SiO2界面陷阱的影响 界面陷阱电荷Qit，归功于Si-SiO2界面性质，并取决于界面的化学成分； 1、在Si-SiO2界面上的陷阱，其能级位于硅禁带之内。 2、界面态密度 单位面积陷阱数 和晶面取向有关。 3、在 100 面界面态密度比 111 面的约少一个数量级，对于硅 100 面，Qit很低，约1010cm-2，即大约105个表面原子才有一个界面陷阱电荷，对于硅 111 面， Qit约为1011cm-2 。 ① 界面陷阱电荷Qit （1）影响阈值电压的电荷因素 氧比物固定电荷Qf位于Si-SiO2界面约3nm的范围内，这些电荷是固定的，在表面势 大幅度变化时，它们不能充放电。 Qf通常是正的，并和氧化、退火条件以及Si的晶面取向有关，经过仔细处理的Si-SiO2系统， 100 面的氧化层固定电荷密度的典型值为1010cm-2， 111 面的为5×1010cm-2。 因为 100 面的Qit和Qf较低，故硅MOSFET一般采用 100 晶面 ② 氧化物固定电荷Qf 氧比物陷阱电荷Qot和二氧化硅缺陷有关。这些陷阱分布在二氧比硅层内；和工艺过程有关Qot大都可以通过低温退火来消除。 ③ 氧化物陷阱电荷Qot 可动离子电