ESD静电破坏与防制教育训练课程.pptVIP

* 靜電破壞與防制教育訓練 自然界組成 [電子的由來] +電子 ? 原子 ? 分子 ? 物質 質子 電子 質子 2H+O ? H O ? 水 2 例如：水 H+ 02+ H+ H+ 02+ 原子之結合 (分子) 靜 電 的 產 生 物質表面經由某種過程[如摩擦]而 失去電子或得到電子，使帶靜止 的電荷謂之靜電 摩 擦 生 電 ↑正[Positive] 空氣 ﹝Air﹞ 人手 ﹝Hands﹞ 玻璃 ﹝Glass﹞ 毛髮 ﹝Hair﹞ 石英 ﹝Quartz﹞ 尼龍 ﹝Nylon﹞ 羊毛 ﹝Wool﹞ 絲綢 ﹝Silk﹞ 鋁 ﹝Aluminum﹞ 紙 ﹝Paper﹞ 棉 ﹝Cotton﹞ 鋼 ﹝Air﹞ 木 ﹝Hands﹞ 橡膠 ﹝Glass﹞ 金 ﹝Hair﹞ 多元脂 ﹝Quartz﹞ 聚胺脂 ﹝Nylon﹞ 聚乙烯 ﹝Wool﹞ 聚丙烯 ﹝Silk﹞ 乙烯基 ﹝Aluminum﹞ 矽 ﹝Paper﹞ 鐵弗龍 ﹝Cotton﹞ ↓負[Negative] 摩 擦 生 電 - - - - - - - - - - - - 分 離 Material〝A〞 Material〝B〞 Material〝A〞 Material〝B〞 -2 +3 Net= +1 -4 +3 Net= -1 -3 +3 Net= 0 -3 +3 Net= 0 影響摩擦生電電量的因素 相對濕度 物質材料 接觸面積 摩擦頻率 典型的ESD電壓 ESD的影響 ESD事件會產生局部高溫或電位差，造成半導　　　　　　　 體元件的損壞。 在許多情況下，破壞電壓的臨界值很低。 可能發生在製程中或使用中的任何階段，如 　 wafer processing,packaging,testing,board assembly, transportation,in the field。 ESD的影響 客戶抱怨、商譽的損失。 成本問題。 ? 假設是可以馬上發現的故障所需花費的成本 略估如下： - Component : 1 - Board : 10-100 - System : 100-1000 　? 如果是潛在故障，成本損失為以上的數倍到幾次方倍。 　 ? 客戶不滿意的成本則無法衡量。 　　 電子元件之ESD故障現象 Human Body Model HBM Electrons Electrons Charged Oxide Discharge(sometimes) 電子元件之ESD故障現象 Charged device model Field CDM CDM Field FIM Field Grounded 電子元件之ESD故障之構因 功率相關：熱崩潰，金屬熔融...　　　　　　　 電壓相關：介電質崩潰，表面崩潰... 潛在性故障：功能惡劣... 靜電防制常用名詞定義 表面電阻 surface resistance 以二個被定義形狀的電極放置在一表面上，加以一直流電壓V，並量 測其電流值後計算出電阻值R，其單位為?。 表面電阻 surface resistivity 單位面積所跨接的表面電阻，其單位為?/square 靜電消散時間 static decay time： 靜電充電在一物體達到一定電壓後，放電到某一百分比所需要的時 間。 靜電防制常用名詞定義 導電材料 Conductive materials: 一個材料其表面電阻率小於1*10 ?/square。 靜電消散材料 Static dissipative material: 一個材料其表面電阻率大於1*10 ?/square 小於1*10 ?/square [ESD Association]。 或是其表面電阻率大於1*10 ?/square小於 1*10 ?/square [MIL-STD-263]。 抗靜電材料 Anti-static materials： 一個材料其表面電阻率大於1*10 ?/squa