微电子m2供酸设备采购项目需求.-中航（重庆）微电子有限公司.docVIP

第章须知条款号 条款名称 编 列 内 容 项目名称 施工地点 参与人资质能力要求 参与人应具备以下资格条件： 1、营业执照 具有独立的法人资格 踏勘现场 ■不组织，联系 交货期：出PO后 60个日历日交货。 安装期：机台到达我司后两周内完成硬件安装。 ※1.6 签字或盖章要求 文件的均须经法定代表人或其授权的代理人签字或盖章确认。 文件正本一份副本份商务正本一份副本份正本一份副本份盖章确认。 截止和报价开启时间 报价评比方法 报价资格符合要求的厂商，按照最低价原则，价格由低到高进行排名， 与排名顺位第一和第二名进入谈判。 第二章 技术标准及要求 第一部分：化学品M2供应系统设备 一、需求内容要求： 本工程包工包料 1. 此设备为全新 2此供酸设备需要抗强酸腐蚀，机台材料采取PP或者PE，管路和泵.阀门采用PFA材质，化学品M2 的主要成份HNO3 H3PO4CH3COOH等。 3. 能和主机台有联动信号，完成主机台要酸(HNO3 H3PO4CH3COOH混酸)需求. 4. 此供应设备需要提供3组信号线(request, EMO, ready)接点和3/4 PFA接口，连到主机台的中间管路和信号线由中航HOOKUP厂商负责提供和安装，此费用为中航负责。 5. 此供应设备能同时容纳2个200L的化学品桶，并在一边空了时自动切换, 并在有桶空时自身会出现ala