多晶硅残液废气处理教义.ppt

二期残液培训讲义 星盛煜 一、废气废液中成份及处理原理 1.废液、废气组织成分 废液主要是氯硅烷（二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅） 废液中主要是氯硅烷（二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅）还有H2、N2、HCL。 2.处理原理 利用含氯硅烷废气废液的物理及化学特性，与水发生激烈的水解反应，生成SiO2，HCL气及H2并放出一定热量， HCL气又极易溶于水中成盐酸。 3.水解反应式 SiCL4＋3H2O＝SiO2·H2O ＋4HCL SiHCL3＋3H2O＝SiO2·H2O ＋3HCL ＋H2↑ SiH2CL2＋3H2O＝SiO2·H2O ＋2HCL ＋H2↑ 二、工艺流程阐述1.喷淋水解： 各车间来废气、废液分别进入废气（V1203AB、V1204AB)、废液（V1201AB）缓冲罐，用N2压送废气、废液进入废气淋洗首塔（T1204A-T1220A），废液淋洗塔（T1201A-T1203A)，经淋洗塔三层喷淋水顺流喷淋（共45m3/h），使首塔未水解的氯硅烷进一步水解生成SiO2和HCL溶于水，随喷淋水从末塔底排入喷淋池（V1205AB），H2、N2及极微量的HCL气淋洗末塔塔顶排风管进入安全液封罐（V1208A-T)由其排风管升至15米高空排入大气。 2.SiO2泡沫处理 废气、废液淋洗水解后产生SiO2泡沫及HCL溶液随喷