大学物理传感器技术第10章Z—半导体敏感元件.pptVIP

第10章 Z—半导体敏感元件 10.1 Z—半导体敏感元件的 ? 10.2 温敏Z—元件的伏安特性 10.3 基本应用电路 10.4 应用开发的基本原理 10.5 力敏Z—元件简介 10.1 Z—半导体敏感元件的由来与特点 10.1.1 由来 自1993年以来, Z—元件（Z—元件是俄罗斯传感器专家V．D．Zotov在20世纪80年代中期独家研制的专利技术, 在全世界范围内无类似产品, 属国际首创的高新技术前沿产品）在世界和我国引起轰动。 这种元件正向输入直流电压, 可得到幅值为输入电压 20%～40%的直流脉冲, 频率随温度、湿度、磁场、流量、光强、射线等物理量变化, 无需前置放大器和A/D转换直接得到数字信号（准确地说是脉冲信号）。 它性能独特, 完全区别于一般的半导体二极管和无源敏感元件(如热敏电阻)。 它是一种有源非线性敏感元件。 Z—半导体敏感元件(简称Z—元件)是 20 世纪末刚刚出现的高新技术前沿产品。 由于它特性新颖、市场潜力大、具有广阔的应用前景, 已引起国内外广泛的关注和极大的兴趣。Z—元件主要有温敏、光敏和磁敏三种, 目前力敏Z—元件也已应用。 本章详细介绍温敏Z—元件的结构、特性、应用电路、工作原理和应用开发方向, 以供广大读者了解Z—元件, 正确使用Z—元件以备开发新产品时参考。 本章还将简单介绍力敏Z—元件。 Z—元件具有一系列优点, 在信息产业界受到高度重视。 它的应用电路极其简单, 输出幅值大、灵敏度高、功耗低、抗干扰能力强, 可分别输出模拟、开关或频率三种信号。当输出数字量信号时, 它不需前置放大和A／D转换就可与计算机直接通讯, 特别适合研制新一代微型三端数字传感器。 这种新型数字传感器可使信息系统的硬件结构大为简化, 有助于降低成本, 提高可靠性, 缩短研制周期, 为用户新产品开发带来很大的方便。 温敏Z—元件的应用领域十分广阔, 几乎可涉及国计民生各个部门。 预期在航空航天、机器人、火灾探测、保安报警、家用电器、汽车电子、医疗保健、农业气象、光纤通讯、电力系统、仪器仪表、儿童玩具等领域将会得到广泛的应用。 Z—元件在正偏使用时, 它具有一条“L”型伏安特性, 在电压(或在温、光、磁等外部激励下)控制下, 可从高阻状态迅速经过负阻区跳变到低阻状态。 在反偏使用时, 与常规PN结特性相似, 但反向击穿电压很高,反向漏电流很小, 具有低功耗特点。Z-元件能利用极其简单的电路, 设定在不同的偏置状态, 选择合适的静态工作点, 可在温、光、磁等外部激励下, 迅速产生灵敏度很高的与外部激励物理量成比例的开关量输出、频率脉冲输出或低功耗模拟量输出, 这种优异的特性展示了Z—元件的开发潜力和应用前景。 10.1.2 特点 Z—半导体敏感元件是一种新型半导体敏感元件, 它与其它敏感元件相比有如下突出的优点: (1) 体积极小, 特别适合研制微型电子装置。 (2) 反应灵敏, 特别适合研制快速反应的电子装置。 (3) 工作电压低, 工作电流小, 特别适合研制便携式电子装置和本质安全型仪器。 (4)Z—元件应用电路目前在世界范围内是最简单的, 可大幅度降低整机成本, 而且由于它焊点少, 因而故障率低, 可提高整机可靠性。 (5)Z—元件应用电路统一规范, 测量温度、磁场、光强等参数均用同一种简单电路, 为用户的二次开发提供了极大的方便。 (6)Z—元件可直接输出频率信号, 可与计算机直接连接, 免除繁琐昂贵的中间环节, 为用户降低整机成本提供了重要的前提。 (7)Z—元件是研制新一代“数字传感器”的理想元件, 随着数字传感器的不断出现, 在不久的将来可能促成传感器、仪器仪表结构和工业测控方式的重大变革。 (8) 可实现非接触测量。 10.2 温敏Z—元件的伏安特性 Z—元件是用电阻率为 40～60 Ω·cm, 厚度为 50 μm的N型硅单晶, 采用平面扩散工艺进行Al扩散以形成PN结, 然后用AuCl·4H2O溶液在高温下进行Au的扩散。 制成的硅片进行单面打磨后, 用化学方法镀上Ni电极以形成欧姆接触, 然后划片切割, 制取台面以减少漏电流, 最后进行引线焊接和封装。 实际上Z—元件可以简化为一个PN结+敏感层的复合结构。 该敏感层是由元件的扩金工艺