传感器第十章半导体传感器(气湿)剖析.pptVIP

主要内容： 1 气敏传感器 2 湿敏传感器 3 色敏传感器 概述 概述 概述 10.1 气敏传感器 10.1 气敏传感器 10.1.1 半导体气敏传感器工作原理 10.1 气敏传感器 10.1.1 半导体气敏传感器工作原理 10.1 气敏传感器10.1.2 半导体气敏传感器类型及结构(1) 电阻型半导体气敏传感器 烧结型气敏器件的制作是将一定比例的敏感材料（SnO2、ZnO等）和一些掺杂剂（Pt、Pb等）用水或粘合剂调合，经研磨后使其均匀混合，然后将混合好的膏状物倒入模具，埋入加热丝和测量电极，经传统的制陶方法烧结。最后将加热丝和电极焊在管座上，加上特制外壳就构成器件。 该类器件分为两种结构：直热式和旁热式。 直热式器件管芯体积很小，将加热丝、测量丝直接埋在金属氧化物半导体粉末材料内烧结而成。加热丝兼做一个测量电极，工作时加热丝通电加热，测量丝用于测量器件的阻值。 10.1 气敏传感器10.1.2 半导体气敏传感器类型及结构(1) 电阻型半导体气敏传感器 10.1 气敏传感器10.1.2 半导体气敏传感器类型及结构(2) 非电阻型半导体气敏传感器 10.1 气敏传感器10.1.3 半导体气敏传感器应用 10.1 气敏传感器10.1.3 半导体气敏传感器应用