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多晶炉作业指导书
多晶炉作业指导书
BY 00206
作业流程
一、目的：
为正确、规范地操作多晶炉，
确保生产作业正常，
特制订本规范。
二、范围：
适用于DSS 450型
多晶炉的操作
三、依据：
DSS 450型多晶炉
使用说明书
作业内容
1.作业准备
1.1.进入多晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。
1.2.开炉前，按工艺要求检查水、电、气、炉内温度，确认无误后方能开炉。
1.3.准备好一次性PVC手套、、
警告！灼伤危险，某些表面温度很高。在高温状态时，请不要触摸加热器背部或周围表面；
警告！当操作压缩空气时，必需配带防护眼罩。
警告！喷涂时，必需确保排风罩畅通。
当心！在喷涂操作中必需始终配带合适的防护装置
当心！需用机械手操作装置来搬运大坩埚。
当心！操作坩埚时需配带橡胶手套，以降低操作过程中对坩埚造成污染。
当心夹手！当机器在运转中时请保持手远离机器运动部件。
[键入文字]
多晶炉作业指导 第3页共7页
作业准备
真空泵检查
热区检修与炉室清理
硅料装炉
抽空检漏
自动生产过程
晶锭叉取
硅锭冷却
石墨护板拆卸
硅锭入库/交切方处切方
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