科技新知概論微機電技術.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * MEMS 和 IC 的比較 IC technologies Standard/modified IC micromachining similar techniques but MEMS chips use small machines and not electronic circuits in the chip. LIGA EDM Other micromachining UV-LIGA Polymer/metal micromachining Laser machining Ion beam machining Stereolithography MEMS元件 Ref: Mems handbook, CRC press 微機電系統的製造技術 體型微加工技術(bulk micromachining) 其重點是將矽晶片腐蝕成機械元件 面型微加工技術(surface micromachining) 將需要的機械元件製作在矽晶片表面上 微光刻電鑄模造(Lithographie, Galvanofo