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真空技术Vacuum technology 引言 “真空”（vacuum）这一术语译自拉丁文Vacuo，其意义是虚无。其实真空应理解为气体较稀薄的空间。在指定的空间内，低于一个大气压力的气体状态统称为真空。真空状态下气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值表示。 真空技术是基本实验技术之一。自从1643年托里拆利 E. Torricelli 做了著名的有关大气压力实验，发现了真空现象以后，真空技术迅速发展。现在，真空技术已经成为一门独立的前言学科。它的基本内容包括：真空物理、真空的获得、真空的测量和检漏、真空系统的设计和计算等。随着表面科学、空间科学高能粒子加速器、微电子学、薄膜技术、冶金工业以及材料学等尖端科技的发展，真空技术在近代尖端科学技术中的地位越来越重要。 （1）真空的基本特点 在真空中，气体分子密度低，在某些情况下，真空可以近似地看作没有气体“污染”的空间。真空中，气体分子或带电粒子的平均自由程为： 例如室温下氮分子的平均自由程在压强为 时将长于50km。电子和离子在气体中的平均自由程分别时气体分子平均自由程的 5.66 和 1.41 倍。因此除非在宇宙空间，几乎所有地面上体积有限的超真空系统中，气体分子之间或气体分子与带电粒子之间的碰撞都可以近似忽略。 由于上述原因，真空中分子之间碰撞频率很低，分子与固体表面碰撞的频率极低。单位面积上气体分子碰撞频率ν与压强p的关系为： 因此真空可以提供一个“原子清洁”的固体表面，可有足够的时间对表面进行实验研究。这是一项重大的技术突破，它导致了近二十年来新兴不明科学研究的蓬勃发展。无论在表面结构、表面组分及表面能态等基本研究方面，还是在催化‘腐蚀等应用研究方面都取得长足的发展。 超高真空的这一特点还为得到超纯的或精确掺杂的镀膜或分子束外延生长晶体创造了必要的条件，这促进了半导体器件、大规模集成电路和超导材料等的发展，也为在实验室中制备各种纯净样品（如电子轰击镀膜、等离子镀膜、真空剖裂等）提供了良好的基本技术。 （2）真空度的单位与区域划分 真空系统的抽气方程 净排气量 排出气体的量-注入气体的量 真空泵（Vacuum pump） 真空泵按其抽气机理可分为两大类： 一是排气性，它是将气体由一方压缩到另一方，如机械泵（mechanical pump）、扩散泵（diffusion pump）、分子泵（molecular pump）等。 二是吸附型真空泵，它是利用各种吸气作用将气体吸掉，如钛升华泵（titanium sublimation pump）、溅射离子泵（sputtering ion pump）、低温泵（cryogenic pump）等。 罗茨泵 油扩散泵 泵的底部—是装有真空泵油的蒸发器，真空泵油经电炉加热沸腾后，产生一定的油蒸汽，蒸汽沿着蒸汽导流管传输到上部，经由三级伞形喷口向下喷出。喷口外面的压强较油蒸汽压低，于是便形成一股向出口方向运动的高速蒸汽流，使之具有很好的运载气体分子的能力。油分子与气体分子碰撞，由于油分子的分子量大，碰撞的结果是油分子把动量交给气体分子自己慢下来，而气体分子获得向下运动的动量后便迅速往下飞去．并且，在射流的界面内，气体分子不可能长期滞留，因而界面内气体分子浓度较小．由于这个浓度差，使被抽气体分得以源源不断地扩散进入蒸汽流而被逐级带至出口，并被前级泵抽走．慢下来的蒸汽流在向下运动的过程中碰到水冷的泵壁，油分子就被冷凝下来，沿着泵壁流回蒸发器继续循环使用．冷阱的作用是减少油蒸汽分子进入被抽容器。 涡轮分子泵 工作过程是：高速旋转叶片—对气体分子施以定向动量—压缩—排气。 优点：无油，洁净，启动快，制动快，可忍受大气冲击。 缺点：由于高速旋转，不能在磁场中使用，否则会产生涡流，导致叶轮发热、变形等严重后果，对氢气等轻质气体抽速较小， 价格昂贵。 钛升华泵 钛升华泵的结构大致可分为三部分：吸气面、热丝 或升华器 和控制器。钛升华泵的工作过程是由控制器通电给升华器 或热丝 ，使钛加热到足够高的温度 1100 直接升华。升华出来的钛沉积在用水或液氮冷却的表面上，形成新鲜的钛膜层。钛在升化和沉积的过程中，与活性气体结合成稳定的化合物 固相的TiO或TiN ，结果将空间的气体分子抽除了。 吸附泵 泵外壳用不锈钢制成。分子筛放在无氧铜翼片上，四周有镍网围住，防止分子筛漏掉。翼片间距适当。以保证分子筛的充分冷却。由上盖板的两个孔注入液氮后，分子筛便大量吸气，泵内被抽成真空。当液氮消耗完毕，分子筛吸附的气体缓慢放出，泵内压强超过一个大气压时，冲开安全阀的氟橡胶塞子，气体排入大气中。这种吸附泵用7～8次后需加热再生一次。再生电炉是细棒状，由液态注入口插入，可使分子筛被加热到300～500 。 溅射离子泵 首先, 电源启动, 在阴阳极板间产生高压。由于级