第8章声表面波感技术.ppt

8.1 概述 8.2 声表面波技术的基础知识 SAW SAW的激发 Concept: IDT 声波可以用质点离开平衡位置的位移来表示，对于压电体，声波的传播还伴随着电场和电势，因此描述声波的变量还要有电势，一共四个量。 2. 声表面波的类型 3. 瑞利波特点 4. SAW技术应用与器件 5. SAW器件材料 Materials 结构型式 SAW传感器信号检测 SAW传感器信号检测 SAW传感器信号检测 SAW传感器的温度补偿 SAW传感器特点 8.5 声表面波传感器的应用 Vibration and Acceleration SAW Sensor Torque SAW Sensor Flow SAW Sensor SAW Gyroscope Liquid SAW Sensor Gas SAW Sensor Application Examples of SAW technology in Automobile electronic ID Smart Tire Exhaust-gas detection Electronic ID Smart Tire 参考资料 图7-12 正交相位检波原理 一 选择零温度系数切型 二 差动法 三 数字补偿法 四 浮动零点法 １）高精度，高灵敏度； ２）准数字输出 ； ３）微型化，低功耗； ４）便于实现无线、无源化 ； ５）多参数敏感性，抗干扰能力强； 6） 结构工艺性好，便于大批量生产 到日前为止，已经研制出的SAW传感 器，归纳起来可分为三大类： 1 物理量传感器： 力 压力、应力 传感器、扭矩传感器、加速度传感器、 角速度传感器（陀螺）、温度传感器、位移传感器、倾斜度传感器、磁场传感器、电压传感器、流量传感器、水声传感器等 2 化学量传感器： 气体传感器、露点传感器、湿度传感器、微质量传感器 微量天平 等； 3 生物传感器： 酶传感器、免疫传感器、液体识别传感器、离子识别传感器等。 种类 Vibration and Acceleration SAW Sensor Torque SAW Sensor SAW Gyroscope Flow SAW Sensor Liquid SAW Sensor Gas SAW Sensor Applications of SAW Device in Automobile SO2、H2S、CO、NO2、H2 etc 思考题 什么叫声表面波？有什么特点与用途？ 叉指换能器的作用原理是什么？ 什么叫声表面波传感器？简述其结构组成和性能特点。 简述SAW传感器的信号检测与处理方法。 声表面波传感器为什么要特别注意温度补偿？常用的补偿方法有哪些？ 试说明声表面波压力传感器的组成和工作原理。 试说明声表面波传感器的组成和工作原理。 什么是声表面波标签？试说明其工件原理与特点。 举例说明声表面波传感器的应用。 * * 第8章 声表面波传感技术 8.1 概述 8.2 声表面波技术基础知识 8.3 研究声表面波的基础理论 8.4 声表面波传感器技术 8.5 典型声表面波传感器及应用 声表面波（SAW）是一种能量集中在表面传播的弹性波。最早是由英国物理学家瑞利在19世纪80年代在研究地震波过程中偶然发现的。 1965年，美国的R.M.White和F.M.Voltmov发明了能在压电材料表面激励声表面波的金属叉指换能器（IDT），大大加速了声表面波技术的发展，相继出现了许多各具特色的声表面波器件，使这门年轻的学科逐步发展成为一门新兴的、声学和电子学相结合的边缘学科。 （1）具有较低的传播速度和较短的波长； （2）沿固体表面传播的，且传播速度较慢； （3）晶体表面传播的弹性波，不涉及晶体内部电子的迁移过程； （4）采用单晶材料和用平面工艺制造，故重复性和一致性好，易于大批量生产。 声表面波特点（相比电磁波） 滤波器、延迟线、振荡器、混频器、放大器、卷积器、相关器、编码器、声光调制器、声光偏转器、声光开关、超声马达、射频标签和传感器等。特别是其作为一种快速、超小型的频率控制、选择和信号处理器件，对电子和通信系统的发展起着极为重要的作用。目前，SAW器件正在朝着GHz频段到10GHz频段的超高频化发展。可以预测它将在信号检测、信号处理中发挥越来越重要的作用。 声表面波器件 用SAW器件研制、开发新型传感器始于20世纪80年代，起初，人们发现外界因素 如温度、压力、磁场、电场、某种气体等 对声表面波传播特性会造成影响，进而研究这些影响与外界因素的关系。根据这些函数关系．设计了各种所需结构．用于测量各种化学的、物理的、生物的被测参数。 尽管SAW传感器的历史并不长，在实用化方面尚有很多困难，但由于