洁净区悬浮粒子监测规程.docVIP

洁净区悬浮粒子监测规程 目的： 建立洁净区悬浮粒子监测的标准操作规程。 2. 范围： 本标准适用于本厂洁净区的悬浮粒子的监测。 3. 职责： QA洁净度监测人员对本标准的实施负责。 4. 程序： 概述：洁净区悬浮粒子监测采用计数浓度法，即通过测定洁净区环境内单位 体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（或洁净区）的悬浮粒子洁净度等级。 仪器：Y09-9型激光粒子计数器。 监测原理：空气中的悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象，散射光的强度 与粒子的表面积成正比。 Y09-9型激光粒子计数器使用要点： 4.4.1. 使用仪器时应严格按照Y09-9型激光粒子计数器使用规程（SOP ZL0109） 进行操作。 4.4.2. 仪器开机预热至稳定后，方可按说明书的规定对仪器进行校正。 4.4.3. 采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。 采样管必须干净，严禁渗漏。 4.4.5. 采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外，长度不得大于1.5m。 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误 差。 4.4.7. 必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定，以保证测试数据的可靠性。 4.5. 测试规则： 4.5.1. 测试条件； 温度和湿度：洁净室（洁净区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要 求相适应（温度控制在18-26℃，相对湿度控制在45%-65%之间为宜）。 压差：空气洁净度不同的洁净室（洁净区）之间的压差应≥5Pa，空气洁 净度级别要求高的洁净室（洁净区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（洁净区） 一般呈相对正压。 4.5.2. 测试状态： 静态测试： 洁净室（洁净区）净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，洁净 室（洁净区）内没有生产人员的情况下进行测试，静态测试时，室内测试人员不得多于2个。 动态测试：洁净室（洁净区）已处于正常生产状态下进行测试。 测试报告中应标明测试时所采用的状态。 4.5.3. 测试时间： 对单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始。 对非单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开 始。 4.5.4. 悬浮粒子计数： 4.5.4.1. 采样点数目及其布置： 最少采样点数目，悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目可以查表1确 定。 表1最少采样点数目： 面积（m2） 洁 净 级 别 100 10000 100000 300000 10 2-3 2 2 2 ≥10~20 4 2 2 2 ≥20~40 8 2 2 2 ≥40~100 16 4 4 2 ≥100~200 40 10 3 2 ≥200~400 80 20 6 4 注：表中的面积，对于单向流洁净室，指的是送风面积；对于非单向流洁净室，指 的是房间面积。 4.5.4.1.2. 采样点的布置： 采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。 采样点多于5点时，也可以在离地面0.8-1.5m高度的区域内分层布置， 但每层不少于5点。 4.5.4.1.2.3. 采样点的布置还可根据需要在生产及工艺关键操作区增加采样点。 4.5.4.2. 采样点的限定：对于任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不 得少于2个，总采样次数不得少于5次，每个采样点的采样次数可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。 4.5.4.3. 采样量：不同洁净度级别每次最小的采样量见表2： 洁净级别 采 样 量 （L/次） ≥0.5μm ≥5μm 100 5.66 — 10000 2.83 8.5 100000 2.83 8.5 300000 2.83 8.5 4.5.4.4. 采样注意事项： 在确认洁净室（洁净区）压差达到要求后，方可进行采样。 对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向；对于非单向流，采 样管口垂直向上。 4.5.4.4.3. 当采样点与设备重叠时，可取消该采样点（在保证最少采样点数目的前 提下），或将采样点设在设备的上风侧。 4.5.4.4.4. 布置采样点时，应避开回风口。 4.5.4.4.5. 采样时测试人员应站在采样口的下风侧。 4.6. 结果计算：悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤统计计算： 4.6.1. 采样点的平均粒子浓度： A= C1+C2……+Ci N 式中：A—某一采样点的平均粒子浓度，粒/m3；