MEMS光开关分析.ppt

移动其他部件的光开关 棱 镜 自聚焦透镜 移动棱镜式： 移动反射镜、透射镜式 移动其他部件的光开关 采用MOEMS技术移动微反射镜的光开关 MEMS光开关的分类 按功能实现方法可分为： 光路遮挡型：代表是悬臂梁式光开关 移动光纤对接型 微镜反射型 光路遮挡型MEMS光开关 整个器件尺寸约l~2mm，材料由金、氮化硅和多晶硅组成，并由体硅工艺加工出悬臂梁。它利用8个多晶硅PiN电池(一种非晶硅太阳电池)串联组成光发电机，在光信号的作用下，产生3V电压，电容板受到电场力吸引，将遮片升起，光开关处于开通状态，如无光信号，光发电机无电压输出，遮片下降，光开关关闭。该开关由远端的光信号控制，所以光开关本地是无源的。该光开关驱动光功率仅2.7μW，传输距离达128 km，开关速度3.7ms，插损小于0.5dB。但串扰比较大，隔离度不高，一般用于组成光纤线路倒换系 移动光纤对接型MEMS光开关 一个l×4光开关，利用光纤的移动和对准实现光信号的切换。 采用体硅或LIGA工艺，制造结构和制备方法较为简单。 采用电磁驱动，驱动精度要求低，系统可靠性和稳定性好，稳态时几乎不耗能， 缺点是开关速度较低，可连接的最大端口数受到限制，多用于网络自愈保护。 美国加州大学戴维斯分校研制的移动光纤对接型光开关示意图 微镜反射型MEMS光开关 相对于移动光纤对接的方法，利用微镜反射原理的光开关更加易于集