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3. 压阻式压力传感器 压阻元件是基于压阻效应工作的一种压力敏感元件,它指在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻,当它受外力作用时,其阻值由于电阻率的变化而改变。 扩散电阻正常工作需依附弹性元件,常用的是单晶体硅膜片。 优点:体积小,结构简单,能直接反映微小的压力变化,动态响应好; 缺点:敏感元件易受温度的影响,从而影响压阻系数的大小。 图是压阻式压力传感器的结构示意图。 在一块圆形的单晶硅膜片上, 布置四个扩散电阻, 组成一个全桥测量电路。 膜片用一个圆形硅杯固定, 将两个气腔隔开。一端接被测压力, 另一端接参考压力。当存在压差时, 膜片产生变形, 使两对电阻的阻值发生变化, 电桥失去平衡, 其输出电压反映膜片承受的压差的大小。 第五节 压力检测仪表的选择与校验 一、压力检测仪表的选择 1. 仪表量程的选择 被测压力较稳定:最大工作压力不应超过仪表满量程的3/4; 被测压力波动较大或测脉动压力:最大工作压力不应超过仪表满量程的2/3; 为保证测量准确度:最小工作压力不应低于满量程的1/3; 优先满足最大工作压力条件。 2. 仪表精度的选择 压力检测仪表的精度主要根据生产允许的最大误差来确定,即要求实际被测压力允许的最大绝对误差应小于仪表的基本误差。 3. 仪表类型的选择 从被测介质压力大小来考虑 被测介质的性质 对仪表输出信号的要求 使用的环境 二、压力仪表的校验 校验就是将被校验压力表和标准压力表通以相同压力,比较它们指示数值,如果被校表对于标准表的读数误差,不大于被校表规定最大准许绝对误差时,则认为被校表合格。 常用的校验仪器是活塞式压力计,它由压力发生部分和测量部分组成,它的精度等级有0.02、0.05和0.2级,可用来校准0.25级精密压力表,也可校准各种工业用压力表,被校压力的最高值为60MPa。 校验方法: 1. 在测量范围内选取3-4个点,选在带有刻度数字的大刻度点上; 2.均匀增至刻度上限,保持上限压力3min,将至0,观察指针的变动情况; 3. 单方向增至校验点后度数,轻敲表壳再读数,再单方向将至校验点校验,计算误差。 三、压力表的安装 1. 取压口的选择 测量液体:在管道下部取压 测量气体:在管道上部取压 测量蒸汽:在管道两侧偏上取压 2. 导压管的铺设 导压管是传递压力、压差信号的,要有3%坡度,长度小于50m。 3. 取压口管与工质流速方向垂直,与设备内壁平齐,无凸起和毛刺。 4. 防止仪表传感器与高温和有害介质直接接触。 5. 取压口和压力表之间要有隔离阀,以备检修。 6. 压力、压差计的安装 差压变送器可以测量液体、气体和蒸汽的压力、压差及液位等参数, 与节流装置配合可测量流量。 差压变送器有气动差压变送器(输出20~100KPa压力信号)和电动差压变送器(输出4~20ma或0~10ma标准电流信号), 下面将重点介绍工业上常用的电动差压变送器。 第六节 差压变送器 一、力平衡式差式变送器 力平衡式差压变送器的构成方框图如图所示, 它包括测量机构、杠杆力平衡机构、位移检测放大器及电磁反馈机构。 力平衡式差压变送器是基于力矩原理工作的, 它是以电磁反馈力产生的力矩去平衡输入力产生的力矩。由于采用了深度负反馈, 因而测量精度较高, 而且保证了被测差压ΔPi和输出电流I0之间的线性关系。 压力、 差压变送器结构都一样, 只是弹性元件稍有差别。 图为电动力平衡压力变送器结构简图。被测压力p作用在测量膜片1上, 转换为输入力作用于主杠杆2的下端。主杠杆以支点膜片3为轴而偏转, 并以力沿水平方向推动矢量机构4。矢量机构将水平向左的力变成连杆6向上的力, 此力带动副杠杆7, 绕其支点顺时针转动, 因而使差动变压器8的衔铁下移, 气隙变小, 衔铁的位移变化量通过低频位移检测放大器9转换并放大为4-20 mA的直流电流I0, 作为变送器的输出信号。 调节支点5的水平位置, 可改变矢量机构的夹角θ, 从而能连续改变两杠杆间的传动比, 能细调量程。调节弹簧11的张力, 可起调整零点的作用。 低频位移检测放大器的作用是将副杠杆上衔铁的微小位移转换成直流输出电流I0, 所以它实际上是一个位移-电流转换器。 二、电容式差压变送器 电容式差压变送器是没有杠杆机构的变送器, 它采用差动电容作为检测元件, 整个变送器没有传动机构, 因而尺寸紧凑, 抗振性好, 性能稳定可靠, 具有较高的精度。它可以测量压力、差压、绝对压力、带开方的差压(用于测量流量)。 1. 电容式差压变送器的组成 变送器包括差动电容传感器和变送器电路两部份, 其构成方框图如图所示。 输入差压Δpi作用于差动电容的动极板, 使其产生位移, 从而使差动电容器的电容量发生变化。 此电容变化量由输入转换部份变换
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