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陈俊芳教授简介 陈俊芳，博士， 1982年2月毕业于华中科技大学物理系，获学士学位。1992年5月于华中科技大学物理系硕士毕业，获硕士学位。1995年9月在中国科学院等离子体物理研究所获博士学位。1995年9月－1997年7月，在华南师范大学量子电子研究所博士后流动站从事博士后研究工作。1997年7月－现在，在物理与电信工程学院工作，教授，博士生导师，现任物理与电信工程学院副院长。从事低温等离子体产生和诊断技术及其应用的研究工作。应用低温等离子体技术制备纳米 SnO2气敏功能薄膜，用于二氧化氮、一氧化碳和氢气等有害易爆气体检测中；采用PECVD合成技术制备了氮化硅纳米超细粉体材料；在低沉积温度下（360℃左右）利用ECR-PECVD技术制备了具有发光效应的纳米晶态结构的氮化硅薄膜材料，并将这一材料应用于超高频大功率浅结晶体管的钝化膜中；开展了低温等离子体干法刻蚀技术的研究，对Ⅲ-Ⅳ族元素和硅器件及氧化硅进行了干法刻蚀研究；还利用ECR-PEMOCVD技术制备了晶态结构的GaN发光薄膜材料。“低温等离子体诊断技术及PECVD制备薄膜材料的应用”获得广东省科学技术三等奖（第一完成人）。近年来，指导博士研究生3人，一人已获得博士学位，指导硕士研究生16人，8人获得硕士学位。主持过国家自然科学基金、教育部高等学校博士学科点专项科研基金、广东省科技计划项目、广东省自然科学基金和广州市科技计划项目,获得和申请专利5项,发表论文60多篇，SCI、EI收录30多篇,参编教材2部。兼任华南师范大学国家级物理学实验教学示范中心主任，中国力学学会等离子体专业委员会委员，广东省物理学会副理事长，《Plasma science and technology》刊物编辑委员会编委，《物理学报》审稿人。 研究方向：低温等离子体技术及应用 招收博士后方向：低温等离子体技术及应用 Email：chenjf@scnu.edu.cn